판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 7 #9350704

텔/도쿄 전자 클린 트랙 마크 7 (TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 7) 은 대형 패널에 가장 높은 수준의 입자없는 처리, 특히 폴리 이마이드 및 세라믹스와 같은 소재를 청소하기가 어렵도록 특별히 설계된 포토 esist 장비입니다. 이 시스템은 듀얼 UV 가속기 (UV Accelerator) 소스가 장착되어 있어, 증착 전에 패널 청결도가 향상되었습니다. TEL Clean Track Mark 7에는 깨끗한 주변을 유지하기 위해 오존 농축 아르곤 분위기를 조사하기 위해 2 개의 호가 있습니다. 챔버 (chamber) 에 들어가면 패널은 고속 지우기 (high rocity wipe) 를 사용하여 오염 입자를 제거하는 부드러운 지우기 모서리 프로세스를 따라 전달됩니다. 그런 다음, 진행성 고강도 UV 소스를 사용하여 패널 표면을 청소하고, 전위 입자를 추가로 제거합니다. 사용 된 기판 유형에 따라 TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 7은 고객의 특정 프로세스 요구에 따라 0.1 ~ 0.3 미크론을 정확하게 청소 할 수 있습니다. 클린 트랙 마크 7 (Clean Track Mark 7) 의 방은 최적의 입자가없는 환경에 대해 지속적으로 모니터링되고 제어되는 깨끗한 질소로 채워져 있으며, 다른 센서 제품군은 챔버의 온도, 습도, 가스 수준을 지속적으로 모니터링합니다. 또한 고속 셔터 (High Speed Shutter) 는 패널이 최대 범위에 맞게 정렬된 경우에만 열립니다. 이를 통해 처리량을 극대화하고 전력 소비량을 줄일 수 있습니다. TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 7 (TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 7) 의 작동 패널은 사용자에게 이전에 저장된 모든 사전 설정 레시피 목록과 최대 150 개의 새로운 레시피를 저장할 수있는 기능을 제공합니다. 직관적인 그래픽 사용자 인터페이스 (Graphic User Interface) 를 통해 연산자는 변경 및 허용해야 할 매개변수를 빠르게 선택할 수 있습니다. 또한, 이 장치는 기계를 지속적으로 모니터링하고, 간섭과 다운타임을 제한하는 강력한 자가 진단 (self-diagnostics) 도구를 사용합니다. TEL Clean Track Mark 7에는 고급 이미지 분석 도구 인 EXECon도 있습니다. 이 자산은 클리닝 프로세스 (cleaning process) 를 능동적으로 모니터링하여 제거해야 할 입자 (particle) 와 이물질 (debris) 을 식별하여 사용자가 잠재적인 문제를 신속하게 파악하고 신속하게 해결할 수 있도록 합니다. 결론적으로, TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 7은 대형 패널 및 기타 소재를 정확하고 빠르게 청소하기 어려운 이상적인 모델입니다. 매우 정확한 UV 소스, 자체 진단 도구 및 EXECon은 최고 수준의 입자없는 처리를 보장합니다. 직관적인 사용자 인터페이스를 통해 간단한 작업 및 레시피 스토리지 (recipe storage) 가 가능하며, 니토겐이 풍부한 클린 룸의 지속적인 작동은 최적의 패널 청결을 보장합니다.