판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 7 #9246548

TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 7은 이미지 처리 및 처리를 위해 다양한 옵션을 제공하는 포토 esist 장비입니다. 이 기계는 광학 리소그래피 및 에칭 (etching), 증착 (deposition), 리프트 오프 (lift-off) 와 같은 고급 패턴화 프로세스에 효율적인 플랫폼을 제공합니다. 이 시스템은 고속, 다중 파장 레이저 및 우수한 미러 장치 (mirror unit) 를 사용하여 반도체 웨이퍼에 선명한 고해상도 이미지를 생성합니다. 기계는 또한 기판 온도에 대한 정확한 제어를 유지하는 동적 열 단계 (dynamic thermal stage) 를 갖추고 있어 최고 수준의 패턴 해상도 (pattern resolution) 를 보장합니다. 이 기계는 결함과 오염을 줄이도록 설계되었으며, 민감한 고해상도 (High-resolution) 어플리케이션에 적합합니다. 입자, 수분 및 공기 오염을 제거하는 3 개의 개별 장치를 포함하는 고급 여과 도구가 특징입니다. TEL 클린 트랙 마크 (Clean Track Mark) 7에는 공수 오염이 모델에 들어가지 못하도록 챔버에서 프로세스 영역을 분리하는 최첨단 공기 흐름 에셋이 장착되어 있습니다. TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 7은 실리콘 온 인슐레이터 웨이퍼 (SOI) 및 실리콘 온 사파이어 웨이퍼 (SOS) 를 포함한 다양한 재료를 처리 할 수 있습니다. 또한, 이 장비는 습식, 건조 및 레이저 증착/리프트 오프 프로세스를 포함한 광범위한 증착 및 리프트 오프 옵션을 갖추고 있습니다. 마지막으로 Clean Track Mark 7에는 고급 이미징 시스템이 장착되어 있습니다. 이 장치는 패턴을 0.5 미크론까지 해결할 수 있으며, 이는 DRAM 및 SRAM 응용 프로그램 모두에 적합합니다. 또한, 기계는 여러 레이어 전송을 처리하여, 여러 계층에 걸쳐 높은 수준의 정확성과 반복성을 보장합니다. 또한, 이 기계는 고급 정렬 (advanced alignment) 기능을 제공하여 사용자가 기판에 다른 레이어를 정확하게 배치할 수 있도록 합니다. 전반적으로 TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 7은 반도체 웨이퍼를 이미징 및 처리하기위한 강력하고 신뢰할 수있는 포토 esist 도구입니다. 고해상도 이미징 기능, 다중 증착/리프트 오프 옵션, 고급 공기 흐름 필터레이션, 뛰어난 정렬 기능 등을 갖추고 있습니다. 이 기계는 다양한 이미징 및 프로세싱 어플리케이션에 이상적인 선택입니다.