판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 7 #9243715

TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 7은 매우 정밀하고 높은 처리량 에칭 프로세스를 수행 할 수있는 포토 esist 장비입니다. 반도체 칩, 전계효과 트랜지스터, 박막 트랜지스터 등 다양한 마이크로일렉트로닉 (microelectronic) 장치 제조에 사용되도록 설계되었습니다. 이 시스템은 "클린 트랙 (Clean Track)" 이라는 독점적 인 정적 충전 프로세스를 사용하여 웨이퍼 계층 간의 청소 프로세스가 필요하지 않으므로 생산 효율성이 향상됩니다. TEL Clean Track Mark 7에는 에칭 프로세스 동안 온도 및 습도 조건을 최적으로 제어 할 수있는 사용자 정의 환경 챔버 (Environmental Chamber) 가 있습니다. 이것 은 "웨이퍼 '에 정전기 가 형성 되는 것 을 방지 하여, 보다 정확 하고 반복 할 수 있는" 에칭' 공정 을 가능 케 한다. 마크 7 (Mark 7) 에는 에치 동작을 정확하게 제어하는 고해상도 카메라가 장착되어 있어 정확하고 반복 가능한 결과를 얻을 수 있습니다. 또한 다중 영역 컨트롤러 (Multi-Zone Controller) 를 사용하여 웨이퍼의 여러 영역에서 필름 두께, 에치 속도 및 에칭 균일성과 같은 매개변수를 동시에 조정할 수 있습니다. 이 장치에는 쉽게 사용할 수있는 몇 가지 자동 기능이 있습니다. 특정 프로세스를 완료하는 데 필요한 적절한 에칭 매개변수 (etching parameters) 를 자동으로 선택하는 한편, 최적의 균일성과 정확성을 보장하는 동시에 과잉 (over-etching) 의 위험을 최소화하도록 프로그래밍할 수 있습니다. 또한, 이 소프트웨어에는 인력의 안전과 에칭 (etching) 시 재료의 무결성 (integrity) 을 보장하는 다양한 안전 기능이 포함되어 있습니다. 마지막으로, Mark 7은 자동 데이터 수집을 위해 "클린 트랙 (clean track)" 소프트웨어 제품군과의 원활한 통합을 제공하여 필요에 따라 레코드에 신속하게 액세스, 트렌드 분석, 매개변수 조정을 지원합니다. 이 소프트웨어에는 근본 원인 분석 기능 (root cause analysis feature) 도 포함되어 있는데, 이 기능은 해당 문제가 발생하기 전에 프로세스의 문제를 식별할 수 있습니다. 이렇게 하면 시스템 성능과 안정성이 향상됩니다. 전체적으로 TOKYO ELECTRON 클린 트랙 마크 7 (Clean Track Mark 7) 은 최신 소프트웨어 제품군의 안전성 및 데이터 수집 기능이 추가되어 일관되고 정확성이 높은 에칭을 제공하는 고급 포토리스 (photoresist) 도구입니다.