판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 7 #9243714

TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 7은 반도체 산업의 photolithography 프로세스에 사용되는 최첨단 포토 esist 장비입니다. 이 시스템은 집적 회로에서 서브 미크론 (sub-micron) 기능의 정확성과 반복성을 향상시키기 위해 설계되었습니다. 포토리토그래피 (Photolithography) 는 반도체 웨이퍼, LCD 유리 또는 반도체 산업에 사용되는 다른 재료와 같은 기판 재료에 패턴을 넣는 과정입니다. 이 장치는 강력한 투영 광학 (optic) 과 높은 정밀도 단계를 사용하여 기판 재료의 노출되지 않은 부분을 정렬합니다. TEL Clean Track Mark 7 (TEL Clean Track Mark 7) 머신은 뛰어난 정확성과 반복성을 얻기 위해 고성능 광학 도구를 모션 제어 에셋과 함께 사용하여 기판 재료의 경로와 검사를 제어합니다. 광학 모델에는 빛을 코팅에 집중시키는 광대역 공조 렌즈 (blimation lens) 가 장착되어 있습니다. 고속, 초정밀, 단계 및 반복 동작 제어 장비는 기판 정렬 및 부품 배치를위한 3 축 선형 단계와 스캐닝, 검사 및 린싱을위한 6 축 관절 로봇 암으로 구성됩니다. 이 "시스템 '은 광물질 의 층 을 기판 재료 에 정확 하고 반복 하여 배치 할 수 있게 해 준다. 이 기술에는 기판 재료에서 잔류 물, 먼지, 오염 물질을 제거하는 자동 클리닝 스테이션 (automated cleaning station) 과 적절한 레이어 배치 및 정렬을 확인하는 필름 검사 스테이션 (film inspection station) 도 포함됩니다. 최첨단 TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 7 장치에는 혁신적인 이미지 인식 알고리즘과 포토 esist 레이어의 검사 및 최적화를위한 로봇 도구가 포함되어 있습니다. 이 기계는 결함과 결함을 2개 (m) 까지 감지 할 수 있으며, 선 가장자리 거칠기와 tip-to-tip 거리를 5으로의 정확도로 측정 할 수 있습니다. Clean Track Mark 7 도구는 TEL의 특허를 받았으며 최첨단 반도체 프로세스 기술을 구현하기위한 최고의 포토 esist 자산입니다. 이 고급 모델은 반도체, 디스플레이, 데이터 저장 등 많은 업계에서 활용하는 정밀 사진 촬영 프로세스에 대한 높은 정확성, 반복성, 신뢰성을 제공합니다. 이 장비의 정확성과 다용성은 소형, 초고밀도 전자 부품 제조에 이상적인 솔루션이 됩니다.