판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 7 #9196447

TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 7 (CTM-7) 은 반도체 산업의 제조 및 건축 프로세스에 사용되는 포토 esist 장비입니다. 사진 촬영, 습식 및 건식 에칭, 기타 포토닉 프로세스 등 다양한 응용 분야에 사용됩니다. CTM-7은 최대 0.25 마이크로미터의 매우 정확한 기능을 갖춘 크고 복잡한 웨이퍼를 위해 설계되었습니다. 처리율이 높고 다른 포토리스 (photoresist) 시스템과 비교하여 효율성이 높습니다. CTM-7은 간접 및 직접 레이저 투영 광학을 사용하여 포토 esist 레이어를 웨이퍼 기판에 정확하게 배치합니다. 포토 esist는 정전기력에 의해 EPC 롤러에서 유지되며, +/- 1 미크론의 중심 정확도로 정확하게 배치 될 수있다. photoresist 레이어는 작업에 대해 미리 정의된 매개변수에 따라 고정밀도 디스펜서 (high precision dispenser) 에 의해 분배됩니다. 그 후, 레이저는 포토 esist 층에서 빔을 만들어 기본 기질을 노출시킵니다. 그런 다음, 노출 된 기판을 작업 매개변수에 따라 정의된 깊이에 에칭된다. CTM-7에는 고급 진공 처리 시스템 (Advanced Vacuum Handling System) 이 있으며, 이를 통해 웨이퍼 정렬 및 웨이퍼 처리가 최적으로 가능합니다. 에치 (etch) 가 완성 된 후, 웨이퍼는 건조를 위해 스핀 드라이어에 자동으로 적재되기 전에 유전체 욕조에 씻기고 린스된다. 스핀 드라이어는 향상된 사이클 시간을 제공하고 웨이퍼의 청결성을 향상시킵니다. 또한 CTM-7 에는 자동 웨이퍼 검사 장치 (Automatic Wafer Inspection Unit) 가 장착되어 있어 사용자가 웨이퍼 표면의 결함을 빠르고 정확하게 검사 할 수 있습니다. 또한 고급 프로세스 모니터링 시스템 (Advanced Process Monitoring Machine) 이 장착되어 있습니다. 이 시스템은 이미지 처리를 사용하여 프로세스 단계를 실시간으로 모니터링하고 그에 따라 매개변수를 자동으로 조정합니다. 이를 통해 photolithography, etching 및 cleaning 프로세스는 모두 최적의 품질 수준에서 수행됩니다. 결론적으로, TEL Clean Track Mark 7은 안정적이고 효율적인 포토리스 스틱 도구로서, 높은 성능과 정확성과 향상된 사이클 시간을 제공합니다. 진공 처리 자산 (vacuum handling asset) 과 프로세스 모니터링 모델 (process monitoring model) 과 같은 고급 기능은 프로세스가 최고 품질 및 정밀도 (quality and precision) 표준으로 완료되는지 확인합니다.