판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 7 #9165478

TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 7은 혁신적인 리소그래피 프로세스에 탁월한 성능을 제공하는 포토 esist 장비입니다. 고밀도 LCD, 평면 패널 디스플레이, 반도체 장치, 기타 고급 전자 제품 제조 등 다양한 어플리케이션의 대용량 생산에 중점을 둔 고급 마스크 제작을 위해 설계되었습니다. TEL Clean Track Mark 7은 습식 트랙 시스템 (wet track system) 을 사용하여 리소그래피 처리를 제공하며, 향상된 수율 및 처리량을 위해 최적화된 포토레지스트 패턴화 프로세스를 제공합니다. 광범위한 기판 크기와 구성을 지원하며, 시간당 1 회 최대 120 개의 기판을 처리 할 수 있습니다. 이 장치에는 고정밀 레이저 포커싱 머신이 장착되어 있으며, 탁월한 균일성과 정확성을 지닌 탁월한 에치 프로파일 (etch profile) 을 제공합니다. TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 7에는 고해상도 마스크 정렬기가 장착되어 있어 마스크 및 고속 레티클의 정확한 교환이 가능하며, 포토 esist 응용 프로그램의 최적 결과를 위해 낮은 잔류 수준을 유지하는 고급 화학 재순환 도구가 있습니다. 지능형 스프레이 에셋은 일관되고 최적화된 응용저항을 보장하는 반면, 고급 포커스 감지 모델은 정확한 스텝 커버리지 (step coverage) 와 뛰어난 패턴 배치 정확도를 달성합니다. 이 장비는 효과적인 웨이퍼 클리닝, 자동 스크러빙 (scrubbing) 및 자가 클리닝 (self-cleaning) 메커니즘을 통해 유지 보수 및 제품 수명이 연장되도록 설계되었습니다. 이 시스템에는 장치, 제어 애플리케이션, 다양한 외부 호스트 간에 중요한 데이터를 실시간으로 전송할 수 있는 데이터 교환 (Data Exchange) 포트가 내장되어 있습니다. 즉, 안정적이고 효율적인 운영 및 효율적인 프로세스 모니터링/제어를 보장합니다. Clean Track Mark 7은 수많은 산업 표준을 준수하므로 시설의 석판화 환경에 쉽게 통합 할 수 있습니다. TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 7은 고급 전자 제품 생산의 요구를 충족하도록 설계된 고성능 포토 esist 머신입니다. 탁월한 균일성 (unifority), 처리량 (throughput), 스텝 커버리지 (step coverage) 를 갖춘 정확하고 안정적인 패턴화 결과를 제공하며 다양한 제조 어플리케이션에 적합합니다.