판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 7 #9165473
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ID: 9165473
웨이퍼 크기: 8"
Coater / (2) Developer system, 8"
Scrubber
Interface
CANON Stepper
Wafer flow: Left to right
Single block.
TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 7 (TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 7) 은 다양한 특성을 가진 감광 필름을 정확하게 배치 할 수있는 고급 기능을 갖춘 모드 선택적 포토 esist 장비입니다. 이 시스템은 3 단계 프로세스를 사용하여 광석판 응용 프로그램의 균일 한 필름 두께와 거의 완벽한 정확성과 해상도를 보장합니다. 첫째, 고유 한 광존 (photozone) 세트는 재료 증착 및 마스킹의 특정 패턴을 기반으로 설정됩니다. 그런 다음, 이 영역은 기계 비전에 의해 안내되어 포토 esist 필름의 증착을 미리 결정된 포토 존 (photozone) 위에 지시합니다. 사용자는 원하는 유형의 포토리토그래피 (photolithography) 와 프로세스의 다른 모든 추가 단계에 따라 다양한 영화 두께 (degrees of film thickness) 중에서 선택할 수 있습니다. 제 2 단계는 포토 esist 필름의 습기를 향상시키는 역할을하는 플라즈마 프리 트리트먼트 (plasma pre-treatment) 의 적용을 포함한다. 플라즈마 사전 처리는 본질적으로 저에너지 이온화 된 가스 (low-energy ionized gas) 로, 기질의 표면과 결합하기 전에 광 esist 반응을 가열하고 시작하는 데 도움이됩니다. 여러가지 방법으로 플라즈마 프리 트리트먼트 (plasma pre-treatment) 를 제어함으로써, 사용자는 의도한 목적으로 포토 esist 필름의 특성을 선택적으로 조정할 수 있습니다. TEL Clean Track Mark 7 내의 세 번째 단계는 photoresist가 자외선 (UV) 빛에 노출되는 곳입니다. 이것은 일반적으로 수작업 (manual operation) 의 일부 단점을 완화하기 위해 일련의 기계로 수행됩니다. 다축 동작 제어 시스템 (Multi-Axis Motion Control System) 과 정밀 광학 (Precision Optics) 을 활용하여 완벽한 입수율로 고해상도 이미지를 빠르게 달성할 수 있습니다. 또한, 이 기계는 독점 소프트웨어 도구를 사용하여 해상도를 최적화하고 매개변수의 교정 (calibration) 과 조정 (adjustment) 을 자동화합니다. TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 7은 정확성과 균일성으로 인해 사진 석판 촬영에 이상적인 도구입니다. 3 단계 과정으로, 포토 esist 증착의 정확성과 해상도는 높은 성공으로 달성 될 수 있습니다. "에셋 '을 사용 함 으로써 여러 가지 두께 의" 포토레지스터' 재료 를 일관성 있고 신뢰 할 만한 방법 으로 달성 할 수 있다. 또한, 모델의 고도로 자동화된 특성은 사용자가 매우 정확성과 해상도를 기대할 수 있는 빠르고, 효율적인 (rapid) 프로세스를 가능하게 합니다.
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