판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 7 #9165472
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ID: 9165472
웨이퍼 크기: 8"
Coater / (2) Developer system, 8"
Scrubber
Single block
Interface
CANON Stepper
Wafer flow: Left to right.
TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 7 (CTM-7) 은 Tokyo Electron Inc에서 개발 한 고급 포토 esist 장비이며 고급 반도체 제조 공정에 사용됩니다. CTM-7은 다양한 최첨단 (최첨단) 기술을 활용해 이전 어느 때보다 더 빠르고 정확하게 웨이퍼를 처리할 수 있습니다. CTM-7 (CTM-7) 은 롤링 가이드 어셈블리와 함께 고정밀 리드 및 롤 나사를 갖춘 릴레이 타입 트랙 시스템을 사용하여 웨이퍼가 정확한 경로를 따라 이동하도록 합니다. 또한, CTM-7은 고유 한 2 계층 회전 구조를 사용하여 웨이퍼의 균일 한 동작을 보장하고, 웨이퍼 회전에 필요한 시간을 줄입니다. 또한 CTM-7에는 고해상도 카메라 장치 (Camera Unit) 가 장착되어 있어 웨이퍼 정보를 감지하고 저장할 수 있습니다. 그런 다음 이 정보 를 사용 하여 "웨이퍼 '의" 포토레지스트' 과정 을 인도 하여 "포토레지스트 '의 최적 인 적용 을 보장 한다. CTM-7에는 멀티 존 (multi-zone) 온도 조절 머신이 장착되어 있으며, 이는 CTM-7의 여러 영역에서 균일 한 온도를 유지할 수 있습니다. 이 도구는 -10 ° C ~ + 250 ° C의 온도를 정확하게 제어 할 수 있습니다. CTM-7은 습식 벤치, 히터 컨트롤러, 리소그래피 시스템 등 다른 여러 시스템과 통합 할 수도 있습니다. 이를 통해 프로세스의 여러 단계를 통합할 수 있습니다. CTM-7 (CTM-7) 은 반도체 제조에 사용하도록 설계된 고급형 포토레시스트 자산입니다. 고급 설계 (Advanced Design) 와 기능을 통해 웨이퍼 (Wafer) 를 정확하고 신속하게 처리할 수 있으므로 프로덕션 라인에 사용할 수 있는 이상적인 모델입니다. 또한, 다른 시스템과 통합하는 능력은 photoresist 프로세스를 간소화하는 강력한 솔루션입니다.
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