판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 7 #9165446

TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 7 (CTM7) 은 금속, 전자 제품, 유리 등을 포함한 다양한 기판에서 정확한 스텐실과 에칭 패턴을 생성하기 위해 패턴을 정확하게 스캔하는 포토 esist 장비입니다. 이 시스템은 최신 반도체· 포장기술을 활용하기 위해 개발됐다. 정확한 패턴 형성을 막을 수있는 먼지, 흙, 기타 오염 물질을 제거하는 '깨끗한' 인쇄 헤드로 설계되었습니다. CTM7은 셔틀 유닛, 벨로우 (bellows) 및 회전판이있는 양면 척으로 구성됩니다. 셔틀 머신은 패널이나 기판을 스테이션에서 스테이션으로 이동하여 프로세스의 각 단계를 자동으로 실행합니다. 벨로우는 패널을 중심에 두고 진공 가방을 공구와 함께 밀봉합니다. 프로세스에는 세 단계가 있습니다. 먼저, 증착을 위해 기판 표면을 준비하기 위해 사전 프로세스가 수행됩니다. 이 단계 에 있는 동안, 모든 먼지, 흙, 기타 오염 물질 들 이 기질 의 표면 에서 제거 된다. 이 과정은 효율적인 접착을 위해 기판을 가열하여 완료됩니다. 다음으로, 포토 esist 증착이 일어난다. 광전자는 빛에 노출 된 후 경화 될 때 응고되는 액체이다. "레이저 '광선 은 0.5" 미크론' 의 정확도 로 광물질 에 기질 을 노출 시키는 데 사용 된다. 이 스테퍼 에셋은 기판의 정밀 패턴 및 에칭을 허용합니다. 마지막으로 사후 프로세스가 수행됩니다. 이 단계에서는 기판에서 나머지 모든 photoresist를 제거합니다. 뜨거운 액체 세척, 기질 건조 및 전기 화학 에칭이 과정을 완료합니다. 결과적으로 많은 응용 프로그램에 사용될 수있는 고정밀도, 높은 신뢰성 스텐실을 제공합니다. CTM7 은 효율적이고 비용 효율적인 툴입니다. 즉, 기존의 프로세스보다 적은 시간에 정확한 각인 (imprint) 을 통해 한 번에 최대 1 개의 패널을 처리할 수 있기 때문입니다. 결과적으로 CTM7은 생산을 최적화하면서 에너지 소비를 줄입니다.