판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 7 #9158029

TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 7 (CTM7) 은 웨이퍼 청소 및 처리에 최적화된 포토 esist 장비입니다. 이 시스템은 고성능 빔 레코더 (HBR) 를 사용하여 반도체 웨이퍼의 고해상도 이미지를 캡처하고 처리합니다. CTM7에는 이미징 프로세스에 대한 웨이퍼의 정확한 위치를 지정하기 위한 3축 전치 (transposition) 테이블이 있습니다. 이미징 프로세스는 다양한 도구 구성을 활용하며, 동적 웨이퍼 스캐닝을 위해 최대 12 개의 고급 렌즈 (advanced lenses) 를 사용합니다. "렌즈 '는 25" 나노미터' (nm) 의 해상도 로 "웨이퍼 '에 있는 특징 들 을 캡처 하고 처리 할 수 있다. CTM7은 photoresist 기술을 사용하여 반도체 웨이퍼 이미지를 캡처합니다. 포토레시스트 (Photoresist) 는 현대 반도체 제조에 사용되는 빛에 민감한 물질로, 웨이퍼 표면에 패턴을 만듭니다. CTM7은 적절한 파장의 레이저 광으로 웨이퍼를 비추고, HBR 카메라는 반사 된 이미지를 캡처합니다. 그런 다음 캡처 된 이미지는 추가 처리를 위해 디지털화되고 기록됩니다. CTM7 은 웨이퍼 (wafer) 에 여러 개의 photoresist 레이어를 지원할 수 있으며, 필요한 레이어는 디바이스 설계에 의해 결정됩니다. CTM7에는 고유 한 다차원 웨이퍼 셔틀 장치 (MDSS) 도 장착되어 있습니다. MDSS는 HBR 챔버와 공정 챔버 사이에 웨이퍼를 빠르게 전송 할 수 있습니다. MDSS는 또한 웨이퍼 (wafer) 의 뒷면 이미징 (backside imaging) 을 가능하게하며, 이를 통해 장치의 기능을 캡처 및 기록하는 photoresist 기계의 기능이 향상됩니다. CTM7 의 첨단 기술 및 기능을 통해, 가장 향상된, 신뢰할 수 있는 포토레시스트 시스템 중 하나입니다. 이 도구는 효율성과 안정성을 극대화하여 반도체 제작 비용을 절감할 수 있도록 설계되었습니다. 또한 CTM7에는 자동 체크아웃, 전원 차단, 레이저 비활성화, 비상 정지 등 다양한 안전 기능이 포함되어 있습니다. 이러한 기능을 통해 CTM7은 반도체 생산에 가장 안전한 옵션 중 하나입니다.