판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 7 #293819950

TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 7은 정밀 프로세스, 증착 및 에치 작업을 위해 설계된 자동 포토 esist 장비입니다. 이 시스템에는 고정밀 오버레이 정렬이 가능한 고속 레이저 스크라이브 장치가 있습니다. 이 기계는 다양한 프로세스 조정 가능 매개변수 (process-adjustable parameters) 를 갖추고 있으므로 다양한 기판 유형이나 프로세스 요구사항을 쉽게 조정할 수 있습니다. 포토 esist는 소형 형상의 고해상도 패턴화를 위해 박막 형식으로 제공 될 수있다. 이 도구는 초고주파 멀티 빔 레이저 소스를 사용하여 일련의 레이저 펄스 (laser pulse) 를 생성하여 패턴 (pattern) 을 기판 표면에 고정시킵니다. 그런 다음, 스크라이브 마크는 photoresist 증착 주기에 대한 정렬 참조로 사용됩니다. 에셋은 기판 표면 지형을 정확하게 제어 할 수 있으며, 임베디드 마크 (embedded marks) 에 대한 포토 esist의 정확한 위치 지정 및 등록을 가능하게합니다. photoresist 모델은 photoresist 물질을 얇은 필름 형태로 기판 표면에 배치 할 수 있습니다. 이 정확한 박막 증착은 반도체 장치 제조에 이상적인 소형 기하학의 고해상도 패턴을 가능하게 할 수 있습니다. 이 장비 에는 "레이저 '광선 을 정밀 하게 정열 하기 위한 통합" 카메라' 가 추가 되어 있다. 이 카메라는 또한 증착 과정 동안 실시간 피드백 (real-time feedback) 에 사용되므로, 스크리브 된 표시에 대한 포토 esist의 높은 정확도 등록이 가능합니다. photoresist 시스템은 반복성과 처리량을 위해 설계되었습니다. 이 장치는 시간당 최대 2,000 개의 포토 코드가 가능합니다. 처리량이 높아 처리량이 중요한 애플리케이션 (예: 대규모 운영 실행) 에 적합합니다. TEL 클린 트랙 마크 7 머신 (TEL Clean Track Mark 7 machine) 은 스크리빙 된 기판을 통한 포토 esist 물질의 증착에 이상적인 솔루션입니다. 고속 멀티 빔 레이저 소스를 사용하면 포토 esist 재료의 정확한 스크리빙 및 등록이 가능합니다. 통합된 카메라 및 자동화된 프로세스 제어 툴을 사용하면 최소한의 오류와 빠른 주기 시간 (fast cycle time) 으로 높은 정확도를 얻을 수 있습니다. 이 자산은 매우 다양하며, 다양한 기판 (substrate) 과 공정 (process) 요구 사항을 갖춘 소형 형상의 고해상도 패턴화에 이상적입니다.