판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 7 #293770189

TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 7 (CTM7이라고도 함) 은 반도체 장치 제작을위한 포토 esist 장비입니다. 매우 다양한 포토 마스크 (photomask) 제작에 사용하도록 설계된 완전 자동화된 비접촉 (non-contact) 노출 도구입니다. CTM7 (CTM7) 은 높은 수율 (Yield Rate) 을 유지하면서 엄격한 공차 레벨로 정밀 사진 촬영 작업을 수행하도록 설계된 중급형 시스템입니다. 이 장치는 고급 턴테이블 (turntable) 유형의 컨베이언스 메커니즘을 특징으로하며, 이는 다중 노출을 지원하고 일관된 기판 정렬을 보장합니다. 턴테이블은 고급 스테퍼 모터에 연결되어 정확한 기판 처리 기능을 제공합니다. 또한, 연약한 기판을 단단한 균일성 수준으로 다루는 진공 척 머신 (vacuum chuck machine) 도 포함되어 있습니다. 이 도구는 99.99% 의 수익률을 유지하면서 5 인치, 6 인치 및 8 인치 웨이퍼를 처리 할 수 있습니다. 노출 자산에는 UHV (Ultra-High Vacuum) 소스 챔버 및 광학 부품이 장착되어 있습니다. 이 설정은 이중 초점 및 스캐닝 노출 작업을 허용하며, 노출 정확도는 몇 나노미터 (nanometer) 까지 낮춥니다. 또한 이중 노출 (Double Exposure) 및 레이저 노출 (Laser Exposure) 기능을 모두 제공하며 라인 및 에지 노출에 맞게 조정할 수 있습니다. 또한 CTM7 은 프로그램 가능한 웨이퍼 (wafer) 포지셔닝 모델을 갖추고 있으며, 이 모델을 사용하여 노출 영역에 웨이퍼를 자동으로 배치할 수 있습니다. 이렇게 하면 최소 수준의 수동 입력으로 반복 가능한 고품질 결과를 얻을 수 있습니다. 또한, CTM7 은 다양한 소프트웨어와 함께 제공되며, 이를 통해 노출 프로세스를 손쉽게 작동하고 정확하게 제어할 수 있습니다. 결론적으로, TEL Clean Track Mark 7은 반도체 장치 제작에 적합한 고급 포토레스 장비입니다. 턴테이블 유형의 컨베이언스 메커니즘, 진공 척 시스템, Ultra-High Vacuum 소스 챔버, 듀얼 포커스 및 스캐닝 기능, 레이저 노출 기능, 조정 가능한 정렬 및 프로그래밍 가능한 웨이퍼 포지셔닝 장치가 특징입니다. 최소 수준의 수동 입력 (manual input) 을 통해 일관되고 높은 품질의 결과를 얻을 수 있습니다.