판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 7 #293765195
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ID: 293765195
빈티지: 2000
(1) Coater / (2) Developer system
Interface module
Temperature and Humidity Controller (THC)
Chemical cabinet
No power box
2000 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 7은 포토 esist 기술 분야의 주요 제품입니다. 반도체 장치 제작자를위한 고급 포토 esist 솔루션을 제공합니다. 이 기술은 실리콘 웨이퍼 (silicon wafer) 와 같은 기판 재료에 필요한 설계 패턴을 정확하게 달성하기 위해 사용됩니다. TEL Clean Track Mark 7에는 독특한 마스크 정렬 장치 (lithography mask 및 기판 사이에 정확하고 반복 가능한 정렬을 제공) 가 있습니다. 이것은 레이저, 회절 빔 스플리터 (diffractive beam splitter) 및 2 개의 카메라를 사용하는 고급 광학 정렬 시스템 (advanced optical alignment system) 을 사용하여 수행되며, 마스크 (mask) 와 기판 사이의 정렬과 레이저 (photoresist) 의 노출을 감지합니다. TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 7에는 고강도 자외선 소스와 수정 된 광학 장치 (optical unit) 를 사용하여 마스크 정렬기에 포토 esist를 정확하게 노출시키는 독특한 노출 기능이 있습니다. 또한 최고급 코팅 머신 (top-of-the-line coating machine) 을 사용하여 고정밀 응용 프로그램을 사용하여 기판에 포토 esist 재료를 정확하게 적용합니다. 이 도구 는 노출 시간 을 최소화 하고, 낭비 를 감소 시키고, 사진술사 의 균일 한 "코우팅 '을 보장 하기 위해 설계 되었다. Clean Track Mark 7은 뛰어난 정밀 기판 및 매우 상세한 패턴을 달성하도록 설계되었습니다. 사전 설정된 정확도 범위 내에서 프로세스 매개변수를 유지하는 고급 제어 기술 (예: 특수 제어 에셋) 을 갖추고 있습니다. 이 모델은 고정밀 리소그래피 결과를 제공할 수 있으며, 더 밀도가 높고 범위가 우수합니다. TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 7은 다른 생산 시스템과 통합되어 더 넓은 프로세스 기능을 얻을 수 있습니다. "컴퓨터 '화 된" 인터페이스' 장비 를 갖추었기 때문 에 여러 가지 "소프트웨어 '" 프로그램' 과 함께 사용 할 수 있다. 이렇게 하면 시스템이 독립적으로, 또는 다른 호환 기술과 함께 작동합니다. TEL 클린 트랙 마크 7 (Clean Track Mark 7) 은 품질 구성 요소로 제작되어 장치 제작에 필요한 안정적이고 고성능 도구를 제공합니다. 장기 사용을 위해 설계되었으며 최소한의 유지 보수가 필요합니다. 이 장치는 탁월한 해상도를 제공하며, 다른 기술보다 더 높은 수준의 정확도로 매우 상세한 패턴을 만들 수 있습니다.
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