판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 7 #293746066

TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 7
ID: 293746066
웨이퍼 크기: 8"
(1) Coater / (2) Developer system, 8" Wafer flow: Right to left Single block.
TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 7은 집적 회로 (IC) 제조업체가 복잡한 구조의 미세하고 정확한 처리를 달성 할 수있는 포토 esist 장비입니다. 이 시스템은 사전 패턴 마스킹 (pre-patterning masking) 없이 매우 정확하고 신뢰할 수있는 윤조 산화물 구조를 생성 할 수 있습니다. TEL Clean Track Mark 7은 특허를 획득한 고유한 Optra Beam 프로파일 기술을 사용하여 원하는 처리 목표를 달성하기 위해 빔 모양과 전력 밀도를 기판 및 포토리스 (photoresist) 프로파일에 맞게 정확하게 조정합니다. 이 기계는 빔 (beam) 모양과 전력 밀도를 실시간으로 모니터링하고 조정할 수 있으며, 복잡한 모양과 특징을 가지고 있어도 매우 정확하고 효과적인 처리를 가능하게 합니다. TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 7은 또한 최첨단 이미징 및 레이저 제어 기술과 그림자 및 플레어 효과를 제거하는 개선 된 조사 장치를 사용합니다. "레이저 '의 반점 크기 와 전력 밀도 를 정확 히 조절 함 으로써 기계 는" 필름' 의 중첩 을 감소 시켜 최종 결과 의 정확도 를 향상 시킨다. 클린 트랙 마크 7 (Clean Track Mark 7) 과 함께 사용되는 포토레스 레이어는 열적으로 안정적이며 전기 저항이 매우 낮도록 설계되었습니다. 이 도구를 사용하면 종횡비가 큰 매우 얇은 (1-2 미크론 너비) 구조와 매우 미세한 선 너비 및 좁은 알루미늄 상호 연결을 만들 수 있습니다. 또한 이 에셋을 통해 프로세스 창을 지속적으로 조정할 수 있으며, 이를 통해 정확한 처리 및 성능 기준 (예: 이미지 해상도, 중요 기능 높이) 을 정의할 수 있습니다. 또한, 스텝 앤 리피트 (step and repeat) 알고리즘을 활성화 및 활용하여 높은 정확도로 여러 기판에 IC를 복제할 수 있습니다. TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 7은 IC 제조와 같이 정확성과 정확성이 필요한 응용 분야에 적합한 강력하고 신뢰할 수있는 포토 esist 모델입니다. 고급 옵틱 (optic), 이미징 (imaging) 및 레이저 제어 기술을 통해 복잡한 기판에서도 완벽한 결과를 얻을 수 있도록 매우 정확하면서도 유연하게 처리할 수 있습니다.
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