판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 7 #293746065

TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 7은 반도체 제조를위한 Standard 및 Advanced Patterning Solutions를 위해 설계된 포토 esist 장비입니다. 산업용, 학문용, 연구용 시설, 통합형 프로세스, 고급 기능 등 다양한 기능을 갖춘 구성 가능한 시스템입니다. TEL Clean Track Mark 7에는 믹서 장치, 사용자 인터페이스 컨트롤러 및 신뢰할 수있는 기본 모터가 있습니다. 이 주 모터 (main motor) 는 디스펜스 (dispense) 및 스텝 유닛 (step unit) 에 연결되어 제어되며, 레지스트 공급 장치를 구동합니다. 혼합 장치는 화학 성분을 자동 혼합, 교반 및 혼합 프로세스와 혼합합니다. 이것은 저항이 필름의 모든 계층에 균질하게 분배되도록 보장합니다. 사용자 인터페이스 컨트롤러 (User Interface Controller) 를 사용하면 원하는 분배 및 단계 조건을 버튼의 터치로 선택하거나 쉽게 사용할 수 있는 GUI (Graphical User Interface) 를 통해 선택할 수 있습니다. 그런 다음 데이터를 실시간으로 조정하여 패턴화를 정확하게 제어하고 애플리케이션에 저항할 수 있습니다. 기계의 작동을 더욱 단순화하는 기능은 내장 레시피 에디터 (GUI 를 통해 액세스 가능) 로, 레지스트 레시피 설정을 간단하게 생성, 수정 및 리트리바이브 (retreival) 할 수 있습니다. TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 7에는 자동 필름 두께 제어 도구 (Automated Film Thickness Control Tool) 도 있습니다. 이는 다양한 두께의 필름의 정확한 적용 및 특성을 정확하게 제어할 수 있으며, 이는 고해상도 패턴을 보장하는 데 중요합니다. 에셋은 또한 고급 클리닝 모듈 (cleaning module) 을 통해 잔류 물을 남기지 않고 필름을 제거하도록 합니다. 클린 트랙 마크 7 (Clean Track Mark 7) 에는 안전 환기 및 안전 배기 모델 (Safety Exhaust Model) 과 같은 내장 안전 기능이 내장되어 있어 소음, 대부분 및 미립자가 작동 중에 방출되지 않습니다. 이 장비는 OSHA, CE 및 EPA와 같은 국제 산업 표준과도 호환됩니다. 마지막으로, TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 7은 다양한 소프트웨어 및 하드웨어와 호환되므로 기존 실험실 및 제조 인프라에 쉽게 통합할 수 있습니다. 이러한 유연성은 광범위한 애플리케이션에 이상적인 시스템입니다.