판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 7 #293746063

TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 7은 TEL Corporation에서 만든 포토 esist 장비입니다. 마이크로 일렉트로닉 장치를 생산하도록 설계된 완전 자동화 및 고성능 석판화 시스템입니다. TEL Clean Track Mark 7은 주 프로세서와 광학 렌즈의 두 가지 주요 구성 요소로 구성됩니다. 주 프로세서는 디지털 데이터 디코딩, 리소그래피 (lithography) 프로세스 제어, 결과 이미지의 품질 모니터링 등을 담당합니다. 광학 렌즈는 거울, 프리즘 및 렌즈로 구성된 고정밀 광학 장치입니다. 그것 은 "웨이퍼 '의" 디자인' 을 영상 으로 촬영 하고, "웨이퍼 '의 표면 으로 설계 를 옮기고," 이미지' 의 오류 를 줄이는 일 을 담당한다. 리소그래피 프로세스에는 극도의 정확성과 정확성이 필요합니다. 이 TOKYO ELECTRON을 달성하기 위해 Clean Track Mark 7은 매우 정확한 레이저 간섭계, 빔 스티어링 미러 머신 및 매우 민감한 검출기와 같은 여러 가지 기술을 사용합니다. 레이저 간섭계 (laser interferometer) 는 광학 컴포넌트 위치의 편차를 감지하는 반면, 빔 스티어링 미러 도구 (beam-steering mirror tool) 는 설계가 웨이퍼에 정확하게 이미지화되도록 합니다. 민감성 탐지기 (sensitive detector) 는 반사 된 빛을 검출하고, 빛의 강도를 정확하게 측정하는 데 사용되는 전기 신호를 출력하는 역할을 한다. Clean Track Mark 7에는 고급 이미지 처리 알고리즘을 사용하여 이미지 오류를 줄이는 HROC (High Resolution Optical Proximity Correction) 자산도 있습니다. HROC 모델은 장치 성능 저하로 이어질 수있는 저항하는 그림자 (shadowing) 및 기타 이미징 인공물을 제거합니다. TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 7에는 다양한 크기와 모양의 기판을 처리하도록 설계된 고급 기판 처리 장비도 있습니다. 기판 처리 시스템은 온도, 압력, 노출 시간 등의 프로세스 매개변수를 제어하는 역할도 합니다. TEL Clean Track Mark 7은 매우 고품질의 마이크로 일렉트로닉 장치를 생산하도록 설계된 고급적이고 정교한 장치입니다. 고도로 정확한 레이저 간섭계, 빔 스티어링 미러 머신 및 민감한 검출기와 결합 된 고급 이미징 및 기판 처리 기능은 TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 7을 효율적이고 비용 효율적인 리소그래피 프로세스를위한 완벽한 선택으로 만듭니다.