판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 7 #293656062

TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 7은 정밀도, 정밀도 및 청결성으로 우수한 결과를 만들어내도록 설계된 고급 포토 esist 장비입니다. 이 시스템은 표적 레이저, 고급 액체 크로마토 그래피 (LC) 및 레이저 캐비테이션 공정의 조합을 사용하여 광범위한 기질에서 매우 정밀한 패턴을 만듭니다. 액체 크로마토 그래피 (liquid chromatography) 는 용매 (solvent) 와 분산제 (distersant) 를 사용하여 레이저 공동화 전에 표면을 청소하고 준비하여 레이저 대상 영역에 대해 완벽하게 깨끗한 환경을 만듭니다. 레이저 동굴 처리는 TEL Clean Track Mark 7 장치의 주요 구성 요소입니다. "레이저 '광학" 어셈블리' 는 기판 을 향하게 되며, 대상 창문 은 정확 한 "패턴 '크기 와 모양 을 갖추도록 조정 된다. 이어서, 초점 "레이저 '광선 이 기판 을 가로질러 움직 이는 동안, 자외선 의 폭발 이 급속 히 폭발 한다. 이것 은 기질 에 "포토레지스트 '를 입히는 반응 을 일으키며, 그 결과 표적 인" 패턴' 이 된다. 그 과정 은 다른 형태 의 "포토리토그래피 '와는 달리, 용제 가 없는 건조 공정 이 사용 된다는 점 에서 독특 하다. 용매를 관리할 필요가 없으며, 용매 유출로 인한 오염 가능성을 제거합니다. 용매로 기판을 준비 또는 습식 할 필요가 없기 때문에, 기판 표면 습기 (substrate surface wetting) 는 제한이 아니며 정확도, 정밀도 및 전체 결과의 광범위한 개선으로 이어졌습니다. TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 7은 프로세스 제어를위한 폐쇄 루프 머신도 제공합니다. 통합 입/출력 도구 (input/output tool) 를 갖춘 온보드 컴퓨터를 통해 사용자는 즉시 프로세스 매개변수 (immediate process parameters) 뿐만 아니라 기록 데이터 (historical logged data) 에 액세스할 수 있습니다. 기판에 영향을 주지 않고 프로세스를 실시간으로 피드백 및 조정할 수 있습니다 (영문). Clean Track Mark 7은 대량 저장, 반도체, 의료, 가전 등 다양한 산업에 적합합니다. 정밀도, 정밀도, 정밀도 때문에 더 높은 수율, 더 나은 수율, 높은 반복성 및 더 정확한 데이터가 있습니다. 건조 과정 인 경우, 환경 문제의 필요성을 최소화하여 비용을 절감합니다.