판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 7 #293641936
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ID: 293641936
(1) Coater / (2) Developer system, 8"
Single block
Silicon wafer
Wafer flow: Right to left
Process station (PSB): Process block robotic arm (PRA)
ADH
(4) LHP
(3) CPL
FC-9801 F Controller
Stage: Cassette stage
Indexer: Open CSB
CRA
2-1 COT unit:
Resist dispense nozzle with HV pump
Side rinse nozzle
Dual back rinse nozzles
Photoresist temperature controller
Motor flange temperature controller
Direct gravity drain type
2-2 / 2-3 DEV unit:
Stream nozzle
Dual D.I top rinse nozzle
Dual back rinse nozzles
Motor flange temperature controller
Direct gravity drain type
Auto damper
Auto dummy dispenser
Chemical supply system:
Solvent supply for COT unit
Develop solution supply for (2) DEV units
Power transformer
SHINWA THC Temperature and humidity controller
Hard Disk Drive (HDD) included
(2) Circular pumps missing.
TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 7은 고급 마이크로 전자 장치의 제작을 위해 설계된 포토 esist 장비입니다. 이 시스템은 고정밀 빔 포커싱 (high-precision beam focusing) 및 정렬 장치 챔버 (alignment unit chamber) 를 통해 작업자가 원자 수준에서 작업별 처리를 수행 할 수 있습니다. TEL Clean Track Mark 7은 두 가지 단계, 즉 정렬 챔버와 기판 처리 단계로 구성됩니다. 정렬 챔버 (Alignment Chamber) 는 빔을 정렬하는 데 사용되는 2 개의 렌즈가있는 빔-디플렉션 머신 (beam-deflection machine) 을 특징으로하므로 처리 중인 기판의 정확한 위치에 광원을 집중시킵니다. 이렇게 하면 각 작업에 대해 매우 정확하고 반복 가능한 결과가 생성됩니다. 기질 처리 단계 는 여러 가지 "가스 '로 가득 찬 진공실 로 구성 되어 있으며, 유해 입자 와 공기 오염 물질 을 깨끗 이 하고 제거 하여, 그 기질 을 오염 시킬 가능성 이 있다. TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 7은 제어 소프트웨어의 도움으로 해상도 1äm를 달성 할 수 있습니다. 조정이 가능하며 다른 프로세스에 맞게 조정할 수 있습니다. 또한 다양한 고급 피쳐 (advanced features) 를 사용하여 빔의 초점, 크기, 모양을 조정할 수 있습니다. 이를 통해 사용자는 매우 짧은 시간 (time) 과 매우 높은 정확도로 프로세스를 최적화할 수 있습니다. 또한 Clean Track Mark 7 자산은 특허 보류 중, 신호 강도 및 신호 균질성을 높이는 혁신적인 조사 방법을 사용합니다. 이는 표면 불완전성을 줄이고 일관된 고품질 웨이퍼 (wafer) 에치를 보장함으로써 장치의 해상도를 향상시킵니다. 이 모델에는 on-wafer etch test, photoresist cleaning test, E-beam simulation, automated recipe control 등과 같은 다양한 진단 도구가 있습니다. 전반적으로 TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 7은 최고 품질의 웨이퍼 에칭 및 포토 마스크 처리를 제공하기 위해 설계된 고급 포토 esist 장비입니다. 고해상도 (high resolution), 제어 소프트웨어 (control software) 및 다양한 고급 기능을 통해 근로자들은 안정적이고 정확하게 높은 안정성을 요구하는 작업을 수행할 수 있습니다.
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