판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 7 #293638993
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ID: 293638993
웨이퍼 크기: 8"
빈티지: 1995
Baking system, 8"
Wafer flow: Right to left
Silicon wafer
Process-1:
FC-9801 F NEC Controller
Stage / Indexer: Open CSB / Cassette stage block
Cassette Block Robotics Arm (CRA)
Process-2:
Process Block Robotics Arm (PRA)
(6) DHP
(9) LHP
(5) CPL
Power transformer
SHINWA Temperature and Humidity Controller (THC)
UPS
Hard Disk Drive (HDD) included
(2) Missing parts:
Main arm Y-motor
Main arm Z-motor driver
1995 vintage.
TEL TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 7은 다양한 어플리케이션을 위해 뛰어난 이미징 품질, 생산성 및 동급 최고의 프로세스 제어를 제공하도록 설계된 포토리스 시스템입니다. 이 시스템은 개발/코팅 모듈 (development/coating module), 이미징 모듈 (imaging module), 호환 스테퍼 (contact stepper with aligner) 의 조합입니다. 개발/코팅 모듈은 개발 및 코팅 프로세스를 위한 탁월한 기능을 제공하도록 설계되었습니다. 고급 버블 프리 기술을 사용하여 최고 품질을 보장합니다. 또한 이 모듈은 필름 두께를 적절히 유지하기 위해 필름 전면 및 두께 조정 컨트롤을 제공합니다. 또한, 이 모듈은 프로세스의 반복성과 균일성을 보장하기 위해 속도 조정을 제공합니다. 이미징 모듈은 고급 레이저 간섭 스캐닝 (interferometric scanning) 기능과 풀 사이즈 스캐닝 서피스 (full-size scanning surface) 를 통해 이미지의 최대 해상도를 보장합니다. 또한, 이미징 모듈은 정밀도 및 대량 생산 실행에 모두 사용될 수 있습니다. 또한 일회성 이미지를위한 수동 이미지 세터가 있습니다. aligner 와 (과) 의 Contact Stepper 는 이미지를 일관되게 등록할 수 있도록 마스크를 정확하게 포지셔닝할 수 있도록 설계되었습니다. 또한 스텝퍼 (stepper) 는 마스킹 재료와 서피스 사이의 등록을 정확하게 제어하기 위해 고급 패턴 인식 제어 (advanced pattern recognition control) 를 제공합니다. 또한, 접촉 스테퍼를 사용하면 이미지가 기판에 완벽하게 정렬되도록 극도로 정확한 접촉 정렬 (contact alignment) 이 가능합니다. TEL Clean Track Mark 7은 최고의 이미지 품질, 생산성 및 동급 최고의 프로세스 제어를 제공 할 수있는 최첨단 포토레스 시스템입니다. 고급 기능은 다양한 프로세스에서 일관성 및 품질 제어를 보장합니다. 또한, 컴팩트한 크기와 에너지 효율적인 설계로 작은 공간에 쉽게 들어갈 수 있습니다. TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 7은 광범위한 이미징 애플리케이션에 이상적인 솔루션입니다.
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