판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 7 #293620432

TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 7은 반도체 장치의 자동 개발을 위해 특별히 설계된 포토 esist 처리 장비입니다. 이 시스템은 포토 esist 코팅 재료를 가진 웨이퍼 표면을 강착 공정 토코트 (deposition process tocoat) 를 사용하여 자외선 (UV light) 에 노출되어 원하는 패턴을 형성합니다. 그런 다음 패턴을 개발하고 에칭을 통해 웨이퍼로 옮깁니다. TEL Clean Track Mark 7 장치는 에칭을위한 이중 레벨 스핀 트랙과 진공기로 구성되며, 둘 다 통합 제어 전자 장치로 연결됩니다. 스핀 트랙에는 2 개의 챔버가 있습니다. 상공 챔버 (upper chamber) 는 포토 esist의 증착에 사용되고 하부 챔버 (lower chamber) 는 자외선에 물질을 노출시키는 데 사용됩니다. 진공 도구 (vacuum tool) 는 에칭과 작업 표면에서 포토 esist를 제거하기위한 진공 압력을 제공합니다. TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 7에는 자동 전송 자산, 더미 기판 처리 메커니즘, 확장 온도 범위 제어, 공기 공급 압력 제어, 냉각 제어, 웨이퍼 정렬 장치, 통합 결함 모니터링 모델 등 다양한 고급 기능이 제공됩니다. 통합 제어 전자 장치는 구성 기능이 뛰어나며 wafer parameter setting, recipe management, generated yield monitoring 등 다양한 기능을 제공합니다. 이 장비에는 인력을 보호하기 위한 다양한 고급 안전 기능 (예: 연동 스위치, 온도 센서) 이 포함되어 있습니다. 마지막으로, Clean Track Mark 7은 다양한 포토 esist 재료를 지원하며 프로세스 효율성을 높이기 위해 설계되었습니다. 이 시스템은 또한 포토레스 처리 (photoresist processing) 의 증착, 개발 및 식각 단계의 속도, 정확성 및 반복성을 향상시킬 수있는 높은 수준의 자동화 및 제어를 특징으로합니다.