판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 7 / Mark 8 #9158032

TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 7/Mark 8은 반도체 장치 제작을위한 고급 스테퍼 기술을 자랑하는 포토 esist 장비입니다. "실리콘 '" 웨이퍼' 로 매우 상세 한 "패턴 '을 옮길 수 있는 완전 한 자동화 된 정밀 석판화" 시스템' 이다. Mark 7/8 photoresist 장치는 대형 형식 스캐너 및 균일 한 주파수 스캔, 균일 한 이미징, 긴 파장 노출, 빠르고 뛰어난 오버레이 등의 기능을 제공합니다. Mark 7/8은 높은 정확도, 고속 및 신뢰할 수있는 클린 트랙 스테이지를 특징으로합니다. 다이렉트 드라이브 서보 모터 (direct drive servo motor) 에 의해 구동되는 정밀 스테이지가 장착되어 모든 웨이퍼 표면에 균일 한 이미징 노출이 가능합니다. 이 기계에는 외부 레이저 간섭계 (interferometer) 또는 인코더 (encoder) 의 필요성을 제거하여 정확한 실시간 위치 피드백을 제공하는 통합 선형 인코더가 있습니다. 또한, 고급 추적 컨트롤러는 낮은 배경 소음 수준과 고속 이동을 용이하게합니다. 또한 Mark 7/8에는 고해상도 렌즈와 모터로 구성된 광학 도구 (정밀 위치 제어) 를 통해 노출 빔의 공간을 정확하게 제어할 수 있습니다. 이 기능을 통해 포토레시스트 (photoresist) 에셋은 초점 깊이와 일관된 패턴화를 통해 매우 높은 해상도의 이미징을 생성할 수 있습니다. 또한, 광학 서브 시스템 (optics subsystem) 은 경쟁하는 포토 esist 시스템의 성능을 제한 할 수있는 길 잃은 빛과 눈부심의 양을 줄입니다. 또한 Mark 7/8 은 공간 효율성을 극대화하여 기존 워크샵 공간 또는 신규 워크숍 공간을 최대한 활용할 수 있도록 설계되었습니다. 이러한 요구 사항을 용이하게 하기 위해 포토레시스트 (photoresist) 모델은 작은 설치 공간으로 능률적이고, 견고하며, 컴팩트한 레이아웃을 갖추고 있으며, 적절한 워크샵에 맞게 최적화되어 있습니다. 전반적으로 TEL 클린 트랙 마크 7/마크 8 (TEL Clean Track Mark 7/Mark 8) 은 작업 공간 효율성을 저하시키지 않고 최고 속도와 정확도로 뛰어난 이미징을 생산하도록 설계된 신뢰할 수있는 포토리스 (photoresist) 장비입니다. 이 시스템은 고성능 광학 장치 (Optic and Tracking Servo Motor) 를 통해 까다로운 작업 환경에서 고급 반도체 장치를 만드는 데 적합합니다.