판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 5Vz #9302022

TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 5Vz는 반도체 기판의 집적 회로를 패턴화하는 최첨단 포토 esist 장비입니다. 5V, 0.25 미크론 디자인과 완벽하게 호환되며, 최고 수준의 수율 및 성능을 제공하도록 설계되었습니다. 고급 기능에는 최적화 된 트리플 퍼지 정렬 시스템, 듀얼 모드 그리드 정렬기 및 통합 충돌 방지 장치 (anti-collision unit) 가 포함됩니다. 3중 퍼지 정렬 머신을 사용하면 몇 미크론 내에서 정렬 표시를 정확하게 등록 할 수 있습니다. 이는 정밀도를 보장하며, 대상 기판의 이동으로 인한 패턴 정밀도 손실을 최소화합니다. 미세 정렬 정확도 외에도, 듀얼 모드 격자선 정렬기는 3 차원에서 향상된 정렬 정밀도를 제공합니다. 이 피쳐를 사용하면 전체 패턴의 위치가 미리 정의된 설계 드로잉 (design drawing) 에 따라 정확하게 처리됩니다. 이 도구에는 통합 충돌 방지 자산도 있습니다. "스캐닝 '단계 와" 반도체' 기판 사이 의 접촉 은 여러 광학 "센서 '를 사용 하여 방지 한다. 또한, 두 시스템 간의 접촉이 감지되면 작동이 중단되어 기판에 대한 효과적인 손상 방지 (prevent of damagement) 를 허용합니다. 마크 5Vz (Mark 5Vz) 는 시장에서 가장 발전된 포토레스 모델로, 최고 속도와 정확도를 제공합니다. 최적화된 설계를 통해 오류를 제거하고, 복잡성을 줄이고, 수익률을 높일 수 있습니다. 충돌 방지 (Anti-Collision) 장비는 패턴이 올바르게 생성되어 기판에 대한 비용이 많이 드는 손상을 방지하는 데 도움이됩니다. 이것은 현대 고정밀 집적 회로 생산에 이상적인 선택입니다.