판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 5 #9198152

TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 5는 반도체 산업의 고급 석판화 및 제조 공정을 위해 설계된 포토 esist 장비입니다. HxP (High-X Movement Patterning) 라는 독특한 패턴 기술을 사용하여 균일하고 고해상도 결과를 보장합니다. TEL Clean Track Mark 5는 최적화된 소프트 터치 스테퍼 시스템을 사용하여 고밀도, 짧은 선 너비, 높은 투명도 필드로 매우 정확한 마스크를 제공합니다. 스테퍼 유닛은 AOM (acousto-optic modulator), OLS (Objectives Lens Machine), 스테퍼 스테이지 및 편광 단계를 포함한 여러 구성 요소로 구성됩니다. AOM은 빠르고 효율적인 마스크 구성 (mask fabraction) 을 위해 설계되었으며 OLS는 향상된 이미징 정확도와 성능을 제공합니다. 스테퍼 스테이지 (stepper stage) 는 프로세스 실행 중에 안정적이고 정확한 움직임을 보장하는 반면, 편광 단계는 스테퍼 도구 교정을 최적화하여 전반적인 성능을 향상시킵니다. 에셋의 HxP 프로세스는 3 단계 포토 esist 패턴 방식을 통합합니다. 먼저, 초기 회로 레이아웃이 웨이퍼에 각인됩니다. 다음으로, 웨이퍼는 균일 한 필드-투-필드 간격 (field-to-field gap) 을 생성하기 위해 경사가 되며, 이는 다음 단계 동안 노출 시간을 최소화하는 데 도움이됩니다. 마지막으로, 품질 보증 및 정확성을 위해 레이저 스캔 기술을 사용하여 포토 마스크 노출 (photomask exposure) 이 수행됩니다. TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 5는 처리량과 정밀도를 위해 설계되었으며, 프로세스 정확도를 최적화하여 높은 종횡비와 수직 구조에서 균일하고 정확한 결과를 제공합니다. 이 모델은 자동화되었으며 레시피 기반 이미징 모드 최적화와 같은 이미지 조정 기능이 내장되어 있습니다. 또한, 이 장비는 라이브러리 (library) 기반 데이터베이스를 갖추고 있으며, 사용자가 신속하게 검색할 수 있도록 알려진 레시피를 저장할 수 있습니다. 클린 트랙 마크 5 (Clean Track Mark 5) 는 고급 기능과 정확한 패턴 외에도 안전성을 최우선으로 설계했습니다. 안전성을 극대화하기 위해 고유한 먼지 수집 시스템 (dust collection system) 을 활용하여 청정실 작업 공간에 유해 입자가 축적되는 것을 방지합니다. 전반적으로 TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 5는 고급 포토리스 장치 (photoresist unit) 로, 사용자에게 정확성과 정확성 및 향상된 안전성을 제공하도록 설계되었습니다. 독보적인 HxP 프로세스는 균일하고 최적의 결과를 보장하는 반면, 자동화된 기능과 라이브러리 기반 데이터베이스는 사용자 친화적이며 효율적입니다.