판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 5 #9198151

TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 5는 최첨단 포토 esist 장비입니다. 높은 수준의 정밀도가 필요한 산업 응용 프로그램을 위해 설계되었습니다. 가장 두드러진 특징 은 매우 얇은 "필름 '과 기판 을 처리 하는 능력 인데, 이것 은 많은 반도체 생산 공정 에서 매우 중요 하다. 마크 5 (Mark 5) 는 뛰어난 정확도와 균일성으로 포토 esist 레이어를 적용하고 에치하는 데 사용될 수 있습니다. 미세 조정 광학 (Fine-Tuned Optics) 과 고급 연산 알고리즘을 활용하여 포토레시스트의 정확한 레이어를 적용하고, 고도로 세련된 이미징 및 모니터링 프로세스를 위한 독특한 이미징 시스템을 제공합니다. 또한 photoresist 프로세스에 최적화된 온보드 ARSS (Automatic Recipe Support Unit) 를 사용하여 각 작업에 맞게 최적화된 프로세스 매개 변수를 사용할 수 있습니다. 즉, 모든 픽셀에 대해 장비 설정을 정확하게 제어해야 하는 복잡한 작업에 특히 유용합니다. Mark 5에는 통합 된 프런트 엔드 리프트 머신 (front-end lift machine) 이 장착되어 있어 빠른 기판 교환이 가능하며 최대 9 인치 기판을 수용 할 수 있습니다. 또한 Mark 5에는 습식 (wet-etching) 및 리소그래피 (lithography) 를 포함한 다양한 습식 처리 (Wet Processing) 옵션이 제공되어 빠르고 효율적인 프로세스 제어가 가능합니다. 또한 Mark 5에는 다양한 안전 기능이 있습니다. 증기 노출을 줄이기 위해 동적 가스 흐름 도구 (dynamic gas flow tool) 와 위험한 화학 물질과의 접촉을 방지하는 광학 밀폐 설계 (optically enclosed design) 가 장착되어 있습니다. 또한 무단 액세스를 방지하는 IP 인터 록 (interlock) 과 자동 잠금 전면 출입구가 포함됩니다. 마크 5 (Mark 5) 는 제조업체가 고성능 제품을 빠르고 안정적으로 공급할 수 있도록 매우 다양한 자산입니다. 고급 기능으로 다양한 포토레지스트 기반 응용 프로그램에 적합합니다. 탁월한 정확성과 신뢰성으로 인해 Mark 5는 산업 응용을위한 귀중한 도구가되었습니다.