판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track Lithius #9404399

TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track Lithius는 집적 회로 장치 생산에 사용되는 포토 esist 장비입니다. 이 "시스템 '은" 반도체' 재료 의 "웨이퍼 '위 에 좁고 정확 한 특징 들 의 정확 한 석판화 를 허용 한다. 이 기술을 통해 중요한 차원에서 고해상도 회로 패턴을 정확하게 전달할 수 있습니다. 이 장치는 stepper/scanner, photoresist track/module 및 wet bench module의 세 가지 주요 구성 요소로 구성됩니다. 스테퍼/스캐너 (stepper/scanner) 는 웨이퍼를 정확하게 가리키는 정확한 광원을 제공하여 패턴화하고 광원의 올바른 위치를 보장합니다. 포토 esist 트랙/모듈은 웨이퍼에 회로 패턴을 만드는 데 사용되는 포토 esist 액체 (photoresist liquid) 의 적용을 제어합니다. 이 재료는 지정된 두께 (thickness) 에 적용되며 피쳐 패턴의 정확성을 보장하기 위해 엄격한 매개변수를 준수해야 합니다. 마지막으로, 습식 벤치 모듈 (Wet Bench Module) 은 포토 esist, 에칭 및 기타 프로세스의 양생을 통해 웨이퍼의 화학 가공 처리를 처리합니다. 모두 원하는 결과를 얻기 위해 절대 정밀하게 수행됩니다. "웨이퍼 '에 가장 정확 한" 패턴' 을 만들기 위해서는 기계 를 적절 히 보정 해야 한다. 스테퍼/스캐너는 성능을 최적화하기 위해 고급 (advanced) 상태로 유지해야 하며, 모든 구성 요소를 제대로 정렬해야 합니다. 광전자 트랙/모듈은 광전자 (photoresist) 적용의 균일성에 부정적인 영향을 미치는 모든 오염 물질에서 벗어나 깨끗하게 유지해야합니다. 마지막으로, 습식 "벤치 '모듈은 최적의 상태로 유지되어야 하며, 모든" 탱크' 와 "파이프 '는 모든 빌드 업에서 자유롭고 모든 화학 물질이 제대로 저장되고 모니터링되도록 해야 합니다. 요약하면, TEL Clean Track Lithius는 최고 수준의 정밀도로 고해상도 회로 패턴을 정확하게 제공 할 수있는 3-in-one 도구입니다. 이 자산은 생산된 패턴의 정확성을 보장하기 위해 높은 수준의 유지 보수 (maintenance) 및 적절한 교정이 필요합니다.