판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track Lithius #9329259

TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track Lithius
ID: 9329259
웨이퍼 크기: 12"
Coater / Developer system, 12" Single block.
TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track Lithius는 반도체 산업을위한 최고의 장비 제조업체 인 TEL이 개발 한 고급 포토 esist 장비입니다. 이 시스템은 포토레시스트 (photoresist) 레이어에 대한 정확하고 고해상도 (high-resolution) 패턴을 제공하도록 설계되어 반도체 제조 응용 분야에 적합합니다. 단위는 스핀 코팅 (spin coating) 절차로 시작되며, 따라서 포토 esist 재료는 얇고 짝수 인 층에서 기판에 적용됩니다. 이것 은 표면 이 감광 물질 로 적절 히 덮여 있음 을 보장 해 주며, 또한 "필름 '의 균일 한 얇은" 필름' 을 만들어 낸다. 스핀 코팅 후, photoresist 레이어는 원하는 패턴을 만들기 위해 광원에 노출됩니다. 빛의 파장과 포토레시스트 특성 (photoresist characterics) 에 따라, 이 과정은 패턴 영역에서 포토레시스트를 선택적으로 제거하거나 상호 연결 할 수있다. 프로세스의 다음 단계에서는 TEL 청소 트랙 리티우스 (TEL Clean Track Lithius) 머신의 패턴 도구를 사용하여 photoresist 표면의 패턴을 정확하게 표시합니다. 이 단계에서 사용되는 도구는 매우 정확하며, 다른 비교 가능한 시스템보다 작은 공차를 달성 할 수 있습니다. 이것은 높은 정확도와 품질 제어가 필요한 제조 응용 프로그램에 특히 중요합니다. 패턴 처리 후, 포토 esist가 개발 및 에칭되어 기판에 필요한 회로 (circuit) 또는 집적 회로 (integrated circuit) 를 형성한다. TOKYO ELECTRON Clean Track Lithius 도구는 또한 최종 회로의 품질을 확인하는 데 사용되는 개발 후 검사 단계를 제공합니다. 이렇게 하면 필요한 미학적, 성능 기준이 충족되도록 할 수 있습니다. 전반적으로, 클린 트랙 리티 우스 (Clean Track Lithius) 는 반도체 제작 응용을위한 포토 esist 패턴화를 만들기 위해 강력하고 신뢰할 수있는 자산입니다. 설계를 각인하고, 패턴화 (patterning) 과정을 완벽하게 제어하며, 완성된 제품의 품질을 확인하기 위한 추가 검증 (verification) 계층을 제공합니다. 제조업체는 이를 통해 뛰어난 수준의 정밀도, 안정성, 품질을 갖춘 구성 요소를 생산할 수 있습니다.
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