판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track Lithius #9294230

TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track Lithius는 고급 리소그래피 생산을 위해 설계된 최첨단 포토 esist 장비입니다. 200nm에서 40õm 사이의 기판에서 강력한 성능과 신뢰성을 제공합니다. 이 시스템은 웨이퍼 전체에서 균일 한 저항을 보장하는 고급 코팅 기술을 갖추고 있습니다. 또한 중요한 기능에 이상적인 뛰어난 처리 레이어 형성과 미세 저항 디테일을 제공합니다. 이 장치의 자동 머신 설계 (Automated Machine Design) 는 저항 분배 속도를 정확하게 제어하고, 장기간에 걸쳐 빠른 프로세스 증가 및 안정적인 작동을 가능하게합니다. 단일 노출 소스는 고에너지에서 저전력 (low energy) 에 이르기까지 다양한 모양과 4 가지 소스 파워를 제공하며, 더 높은 공정 생산량, 향상된 장치 성능을 제공합니다. TEL Clean Track Lithius에는 다양한 도구와 옵션이 포함되어 있어 프로세스 통합을 효율적으로 수행할 수 있습니다. EDI (Embedded Defect Inspection Tool) 는 서피스 및 임베디드 결함을 감지한 다음 저항에 표시됩니다. 이 빠른 실시간 검사는 결함이 없는 기판을 보장하도록 설계되었습니다. 또한 최첨단 진단 (Edge Diagnostic) 기능을 통해 방해없이 와퍼 설계 신뢰성을 향상시키는 프로세스 조건에 대한 자세한 정보를 제공합니다. 이 자산은 또한 고급 플라즈마 에치 기술 (plasma etch technology) 을 갖춘 저항 필름의 직접 패턴화를위한 통합 에치 스테이션을 제공합니다. 운영자는 기본 제어판 (Control Panel) 에서 직접 통합 에칭 도구에 액세스할 수 있으므로 동일한 웨이퍼 (Wafer) 카세트에서 두 프로세스를 쉽게 실행할 수 있습니다. 이 에칭 솔루션은 또한 낮은 오염 수준, 손쉬운 처리, 빠른 웨이퍼 턴타임을 제공합니다. TOKYO ELECTRON Clean Track Lithius는 고급 석판화 제작을위한 올인원 플랫폼을 제공하여 수율 증가, 신뢰성 향상, 처리량 향상을 지원합니다. Clean Track Lithius는 기존의 혁신적인 기능으로, 중요한 리소그래피 애플리케이션을 위한 고성능 솔루션을 제공합니다.