판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track Lithius #9275996
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ID: 9275996
웨이퍼 크기: 12"
빈티지: 2008
Resist coater / Developer system, 12"
Multi block
Track 1:
(2) Coater cups
(2) BCT cups
(4) Developer cups
Track 2:
Resist reduction: RRC
Dev nozzle: LD Nozzle
Resist pump: RDS 4ml
Oven:
Dehyde bake: (4) CLHP
COT: (9) CPHP
PEB: (6) CPHP
Post bake: (5) CLHP
(2) ADH
Track chemicals:
Resist supply: Gallon bottle
Thinner: OK73, LA95
Does not include HDD
2008 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track Lithius는 반 도체 산업에서 웨이퍼에 미세한 에칭 패턴을 만드는 데 사용되는 포토 esist 장비입니다. 시중에서 가장 발전된 포토레지스트 기술 중 하나입니다. 이 시스템은 복잡한 광 제어 및 패턴 (patterning) 메커니즘을 사용하여 웨이퍼 표면에 정확한 에칭을 사용합니다. 첫 번째 단계는 웨이퍼 표면에 얇은 양의 톤 포토 esist 레이어를 적용하는 것입니다. 그런 다음 광전자는 고강도 UV 광원에 노출되며, 이는 원하는 패턴에 따라 광전자의 노출을 선택적으로 조절합니다. 그런 다음 이 "패턴 '은" 웨이퍼' 의 표면 으로 옮겨져 식각 과정 에 대비 하게 된다. TEL Clean Track Lithius 장치에는 레이저 LDI (Laser Direct Imaging) 광학, 8 채널 스테퍼 모션 컨트롤 및 포토 esist의 균일 한 노출을위한 빠른 피드백 머신과 같은 정교한 조명 제어 기능이 제공됩니다. 필요한 경우 Contact Exposure 옵션으로 전환하도록 선택할 수도 있습니다. TOKYO ELECTRON Clean Track Lithius가 사용하는 고급 photoresist 기술은이 도구를 여러 photoresist 제거 프로세스에 적합하게 만듭니다. 이를 통해 사용자는 웨이퍼에 대한 몇 가지 세부적인 에칭 세부 정보를 동시에 인쇄할 수 있습니다. 에셋에는 다양한 포토 esist 버라이어티 (photoresist variety) 도 있으며, 보다 맞춤형 에칭 패턴을 달성 할 수 있습니다. Clean Track Lithius photoresist 모델은 효율적이고, 정확하며, 잘 조절 된 에칭 프로세스를 찾는 반도체 제조업체에 적합한 선택입니다. 세련된 기능, 사용자 친화적 운영, 신뢰성 등으로 인해 많은 업계의 포토레시스트 (photoresist) 장비가 되었습니다.
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