판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track Lithius #9269264

TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track Lithius는 대규모 집적 회로 (LSIC) 제조 및 기타 관련 프로세스를 위해 고정밀 석판 생산을 제공하기 위해 설계된 포토 esist 장비입니다. 이 시스템은 탁월한 성능과 비용 절감 효과를 제공하는 한편, 오염의 위험을 줄여줍니다. TEL Clean Track Lithius의 주요 기능으로는 고해상도 이미징, 정확한 오버레이 등록을위한 자동 마스크 정렬 장치, 노출된 마스크의 안전한 전달을위한 전용 장치, 최적화된 이미징을위한 고급 빔 스캐너, 매우 강력한 청소 장치 등이 있습니다. 오염 가능성. 고해상도 이미징 (high-resolution imaging) 기능은 0.5 미크론 정도의 해상도를 제공하며, 생성된 최종 이미지가 프로세스에 사용된 마스크를 정확하게 반영하도록 합니다. 자동 마스크 정렬 장치 (automated mask aligner) 는 마스크 를 대상 회로에 정확하게 등록하여 고급 리소그래피 (lithography) 를 수행할 수 있도록 설계되었습니다. 전용 "마스크 '는 노출 된" 마스크' 를 안전 하게 전달 하도록 설계 되어 있으며, 그 과정 에서 원치 않는 물질 을 옮기지 않게 한다. 고급 빔 스캐너 (Advanced Beam Scanner) 는 최적의 이미징 성능을 제공하는 반면, 초고출력 클리닝 머신은 오염의 가능성을 줄이기 위해 작동합니다. TOKYO ELECTRON Clean Track Lithius는 광범위한 리소그래피 응용 프로그램으로 안정적이고 효율적인 제조 공정을 제공하도록 설계되었습니다. 이 도구는 고해상도 이미지를 생성하고, 대상 기판에 직접 노출할 수 있는 기능을 통해 품질 (Quality) 결과를 얻을 수 있습니다. 또한 고급 빔 스캐너 (advanced beam scanner), 자동 마스크 정렬기 (automated mask aligner) 및 전용 안전 장치가 모두 함께 작동하여 안전하고 정확한 석판 제작을 제공합니다.