판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track Lithius #9267953

TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track Lithius는 포토 esist 생산을 위해 설계된 최첨단 반도체 웨이퍼 처리 장비입니다. 이 "시스템 '은 고도 의 청소 과정 과 고도 의 정확 한 포토레시스트 증착 장치 를 결합 시켜, 수요 에 따라 가장 질 높은 제품 을 생산 한다. TEL Clean Track Lithius는 청소와 증착 단계 사이에서 웨이퍼를 움직이는 로봇 암 한 쌍을 특징으로합니다. 이 기계의 통합 청소 공정 (integrated cleaning process) 은 순수한 물 첨가제와 산소를 사용하여 유기 및 무기 오염 물질이 없는 완전히 깨끗한 웨이퍼를 제공합니다. 증착 도구는 한 쌍의 초고밀도, 플라즈마 강화 증기 증착 총 (plasma-enhanced vapor deposition gun) 으로 구성되며, 웨이퍼 표면에 화합물을 열적으로 증발시키고 응축시켜 포토 esist 패턴의 뛰어난 균일성과 재생성을 제공합니다. 에셋은 웨이퍼를 관리하기 위해 프로세스 챔버 (process chamber) 상단 및 하단에 2 개의 독립적 인 컨베이어 트랙 (conveyor track) 으로 구성되며 시간당 최대 300mm 웨이퍼를 처리 할 수 있습니다. 독점적 인 TOKYO ELECTRON Clean Track Lithius 소프트웨어 제품군을 사용하면 웨이퍼 처리 중 모델 매개변수를 완전히 제어 할 수 있습니다 (레시피를 저장하고 즉석에서 수정하는 기능 포함). 하드웨어와 소프트웨어를 통해, 장비는 전체 웨이퍼 표면에서 +/- 0.9äm의 예금 균일성을 달성 할 수 있습니다. 이 시스템은 프로세스 이상을 실시간으로 감지하고 수정할 수 있는 자동 진단 (auto-diagnostic) 기능을 갖추고 있습니다. Clean Track Lithius (Clean Track Lithius) 는 탁월한 프로세스 제어 기능 외에도 다양한 안전 기능을 통해 장치를 오염과 작동 오류로부터 보호합니다. 기계는 공정 챔버 (process chamber) 에 입자의 누출을 최소화하기 위해 여러 개의 금속성 오염 방지 배플 및 공기 커튼이 장착되어 있습니다. 또한 멀티 플렉스 입구 펌핑 (multiplexed inlet-pumping) 아키텍처를 사용하여 공정에 사용 된 가스가 웨이퍼에 위험 할 수있는 탄화수소로부터 자유롭게합니다. 마지막으로, 공구별 안전 회로 (Safety Circuit) 검사를 통해 자산이 제대로 작동하는지 확인합니다. TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track Lithius는 정밀 대용량 포토 esist 증착을위한 이상적인 도구입니다. 24/7 운영을 위해 설계되었으며 현재 전 세계 다양한 실험실 및 생산 시설에 설치되어 있습니다. 이 모델은 고효율적이며, 수년간 신뢰할 수 있는 작동을 위해 설계되었으며, 사용자가 포토리스트 (photoresist) 를 신속하게 처리하고, 웨이퍼 수율 및 수익성을 높일 수 있습니다.