판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track Lithius #9267952

TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track Lithius는 다양한 응용 요구 사항에 적합한 강력하고 자동화된 포토 esist 장비입니다. 이 시스템은 고성능, 효율적인 photoresist 프로세스 제어 및 유연한 기판 로드/언로드 옵션을 갖추고 있습니다. 배치 크기 생산에서 경제적이고 뛰어난 결과를 제공합니다. 최고의 성능을 보장하기 위해, 이 장치는 자동화된 청소 및 건조 (drying) 프로세스를 제공하여 최고의 결과와 효율성을 보장합니다. 이 기계는 한 번에 최대 20 개의 웨이퍼를 정확하게 로드/언로드하는 로봇 제어 카세트 로더를 갖추고 있습니다. 이 도구는 또한 고급 인라인 코팅 (in-line coating) 및 베이킹 기술을 사용하여 필요한 수동 프로세스 단계 수를 낮춥니다. 또한 정교한 결함 감지 및 자동 조정 기능이 있습니다. 이 자산은 최대 6 개의 스핀 코터를 사용하며, 이는 다양한 포토 esist 처리를 제공합니다. 이러한 옵션에는 단일 레이어, 양면, 20 ± 1 um 간격 채우기, 잔류 필름 두께 측정 및 건조 제어가 포함됩니다. 스핀 코터 (spin coater) 에는 산업 표준 이미지 헤더가 포함되어 있으며, 최소 데드 볼륨 (dead volume) 과 최소 표면 결함 형성을 보장합니다. 또한, TEL Clean Track Lithius 모델은 뛰어난 기능 제어 기능과 균일 한 기판 배달과 함께 고급 패턴 해상도가 필요한 어플리케이션에 적합합니다. 높은 안정성과 반복성을 통해 배치 크기 (batch-size) 를 효율적으로 생산하고 비용을 더 절감할 수 있습니다. 이 장비는 또한 그래픽 사용자 인터페이스 (Graphical User Interface) 를 통해 프로덕션 프로세스를 관리하는 통합 소프트웨어 솔루션을 제공합니다. 통합 소프트웨어는 수작업 (manual intervention) 을 최소한으로 줄이며, 프로세스 흐름을 관리하는 데 도움이 되는 내부 데이터베이스 (internal database) 를 포함합니다. 전반적으로 TOKYO ELECTRON Clean Track Lithius는 다양한 응용 요구 사항에 이상적인 포토 esist 시스템 솔루션입니다. 탁월한 프로세스 시간 제어, 탁월한 기능 제어 기능, 뛰어난 결함 감지 정확성을 제공합니다. 또한, 통합 소프트웨어 솔루션은 생산 프로세스를 간소화하고 높은 수익률과 반복성을 보장합니다.