판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track Lithius #9243664

TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track Lithius는 반도체 생산 공정의 fab 효율을 촉진하기 위해 설계된 고급 포토 esist 장비입니다. 포토레시스트 사이클 (photoresist cycle) 의 각 단계의 리소그래피 (lithography) 를 지원하는 독특하고 강력한 도구 세트를 제공하여 각 프로세스를 사용자 정의할 수 있습니다. 이 시스템은 제조 프로세스를 간소화하여 품질이 저하되지 않고 주기 시간 (cycle time) 을 단축시켜 수익률이 높은 결과를 낳습니다. TEL 청소 트랙 리티 우스 (TEL Clean Track Lithius) 장치를 사용하면 포토리스 연주주기를 정확하게 제어할 수 있으므로 각 단계에서 완벽한 리소그래피 프로세스가 가능합니다. FTM (Automatic Film Thickness Measurement) 기능은 photoresist 필름이 전체 photoresist 사이클 전체에서 원하는 두께를 유지하여 매우 정밀한 저항 패턴화 결과를 제공합니다. 이 기계는 또한 선제적 인 CIS (Cleaning-in-Situ) 기능을 제공하며, 이 기능은 포토 esist가 항상 이미징 전에 원시 상태에 있는지 확인합니다. CIS 기능은 최적의 포토 esist 접착력을 달성하고 필름 접착 손실을 피하는 사이에 귀중한 균형을 만듭니다. 또한, 이 도구에는 최고 수준의 ETC (Edge-Tilt Compensation) 기능이 포함되어 있으며, 이는 리토 에칭 중에 발생할 수있는 저항 패턴 변위를 빠르고 정확하게 보상합니다. TOKYO ELECTRON Clean Track Lithius 자산이 제공하는 자동화는 수동 개입의 필요성을 제거하여 Fab 처리량을 높입니다. 통합 PD (Process Diagnostics Model) 는 프로세스 변형을 감지하고 제거하고 레지스트 카세트의 최적의 처리를 보장하여 보다 빠르고 정밀한 구성 결과를 얻을 수 있습니다. 전반적으로 Clean Track Lithius는 반도체 제작을위한 효과적이고 신뢰할 수있는 포토 esist 장비입니다. 필름 두께, 선점형 클리닝, 에지 틸트 (edge-tilt) 보상, 고급 프로세스 진단을 정확하게 제어하는 동시에 수동 중재 (manual intervention) 를 제거하여 주기 시간을 단축함으로써 최상위 석판화 결과를 제공합니다. 이 시스템은 전체 photoresist 사이클 전체에서 일관되고 안정적인 결과를 보장합니다.