판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track Lithius #9217452

TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track Lithius는 모든 리소그래피 응용 프로그램에서 정확하고 깨끗하며 일관된 결과를 제공하도록 설계된 완전 자동화 된 포토리스트 장비입니다. 고급 이미징 및 처리 소프트웨어를 사용하여이 시스템은 포토 esist, acrylic, PMMA 또는 polyimide를 포함한 다양한 유형의 photoresist 재료에 대해 일관된 결과를 생성합니다. 이 장치는 렌즈 (lenses), 회절식 광학 요소 (diffractive optical elements), 거울 (mirrors) 및 파장 필터 (wavelength filter) 와 같은 고급 광학 컴포넌트의 조합을 사용하여 포토레지스트 재료에 적용되는 균일 한 빔을 생성합니다. 이 "응용 프로그램 '은" 빔' 을 처리 하여 기판 을 완전 히 캡슐화 하고 단지 1 "초 '만 에 균일 한 범위층 을 만든다. 이를 통해 노출된 물질은 최대 품질과 성능에 대해 정확하고, 심지어 커버리지를 갖습니다. 기계의 고급 공기 베어링 스테이지 툴은 최대 스캐닝 속도 (0.5mm/s) 로 정확하고 반복 가능한 동작을 제공합니다. 또한 기판 온도에 대한 실시간 모니터링을 제공하여 일관되고 반복 가능한 결과를 보장합니다. 이 기능을 사용하면 원하는 기판을 일관되게 처리하기 위해 필요한 시간을 더 줄일 수 있습니다. 또한 이 자산에는 자동 청소 기능도 장착되어 있습니다. 이 모델의 노즐 클리닝 (nozzle cleaning) 및 노즐 누출 감지 시스템 (nozzle leak detection system) 은 공기 전달 시스템과 노즐이 일관된 스프레이를 제공하도록 보장하여 공기 또는 재료 전달 오류에 대한 잠재력을 제거합니다. 전반적으로 TEL 클린 트랙 리티 우스 (TEL Clean Track Lithius) 는 모든 리소그래피 응용 프로그램에서 일관되고 반복 가능한 결과를 제공하기 위해 설계된 고급 정밀 포토리스트 장비입니다. 고급 광학 부품 (Optical Component), 스캐닝 속도 (Scanning Speed) 및 온도 제어 (Temperature Control) 의 조합은 석판화 작업에 적합한 완벽한 솔루션을 제공합니다. 또한, 자동 청소 기능은 일관되고 균일 한 빔 커버리지 및 신뢰할 수있는 기판 온도 수준을 보장합니다.