판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track Lithius #9213599
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ID: 9213599
웨이퍼 크기: 12"
빈티지: 2006
(3) Coater / (2) Developer system, 12"
Single block
Main controller
Hard Disk Drive (HDD)
(2) Robots: 1-0 CRA and 2-0 PRA
Power box
Chemical box
Temperature and Humidity (T&H)
TCU
2006 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track Lithius는 반도체 웨이퍼의 회로를 패턴화하는 데 사용되는 포토 esist 장비입니다. 이 시스템은 마스크 없는 레이저 리소그래피 (lithography) 기술을 사용하여 포토레지스트 패턴을 작성하며, 이를 반도체 웨이퍼로 옮길 수 있습니다. 이 과정에는 웨이퍼 표면에 2 개 이상의 포토 esist가 적용됩니다. 첫 번째 포토 esist (photoresist) 는 회로 요소를 형성하기 위해 점이나 선의 패턴을 배치하는 데 사용되며, 두 번째 photoresist는 패턴 선 위에 연속 선을 형성합니다. 이를 통해 회로의 세부 사항을 보다 정확하게 제어 할 수 있습니다. TEL 클린 트랙 리티 우스 (TEL Clean Track Lithius) 장치는 레이저 빔을 사용하여 웨이퍼의 포토 esist에 고해상도 패턴을 조각합니다. 패턴의 깊이는 다른 회로 설계에 맞게 조정할 수 있습니다. 그 다음 광전자 는 "에칭 '용액 이" 웨이퍼' 에 정확 한 "패턴 '을 만드는 데 사용 되는 반도체 기판 을 에칭 하기 위한" 마스크' 역할 을 한다. TOKYO ELECTRON Clean Track Lithius 기계는 웨이퍼에서 복잡하고 고해상도 패턴을 생산하기위한 신뢰할 수있는 솔루션입니다. 이 공구는 다양한 재료 (material) 로 작동하며 다양한 저항 설계 프로세스와 함께 사용할 수 있습니다. 보다 정확하고 깨끗하고 일관된 결과를 제공합니다. 이 자산은 또한 고속 레이저 스캔 및 패턴 지정 기능으로 생산성이 높습니다. 이 모델은 손쉬운 운영, 유지 보수 및 수리를 위해 설계되었습니다. 이 photoresist 장비는 증착, 산화, 확산 및 etch와 같은 모든 주요 반도체 제조 프로세스와 호환됩니다. 광범위한 애플리케이션을 통해 반도체, 전자 장비, 자동차 제조 등 여러 산업에 적합합니다. 이 시스템은 복잡한 패턴을 쉽게 처리 할 수 있으며, 특히 다중 레이어 photomask 제작에 유용합니다. 결론적으로, Clean Track Lithius는 광범위한 응용 프로그램을 처리 할 수있는 고급 포토 esist 유닛입니다. 탁월한 정확성과 고속 레이저 스캐닝 기능으로 안정성이 높고 효율적입니다. 이 기계는 작동 및 유지 보수가 쉽고, 모든 주요 반도체 제작 프로세스와 호환됩니다. 이를 통해 웨이퍼 (wafer) 에 복잡한 패턴을 생산하기 위해 여러 산업에 이상적인 솔루션이 됩니다.
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