판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track Lithius #9206373

TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track Lithius는 처리량 및 비용 절감 효과가 향상되어 매우 깨끗한 결과를 제공하도록 설계된 포토 esist 장비입니다. 이 시스템은 고정밀 레이저를 사용하여 주어진 포토레지스트 패턴의 양수 (positive) 또는 음수 (negative) 영역을 빠르고 정확하게 분리합니다. TEL 청소 트랙 리티 우스 (TEL Clean Track Lithius) 에는 노출 조건과 레이저 특성을 개별적으로 수정할 수있는 조정 가능한 광학 베이스 블록이 있어 매우 정밀한 패턴화가 가능합니다. 이 장치는 또한 모듈식 (modular) 설계를 사용하여 설정 유연성을 향상시키고 대형 기판을 편리히로드 및 언로드합니다. 이 기계는 0.5 미크론 (micron) 기능을 해결할 수있는 미세한 초점 빔으로 각각 최소 선 너비와 1.4 및 2 미크론의 간격을 가진 패턴을 생성 할 수 있습니다. 이 장치는 GUI (Graphical User Interface) 소프트웨어에 의해 편리하게 제어되므로 운영자 사용과 실시간 조정이 용이합니다. 정확한 레이저 샷 간격은 패턴화 반복성과 신뢰성을 더욱 향상시킵니다. TOKYO ELECTRON Clean Track Lithius는 안정적인 방식으로 작동하여 생산 목적에 필요한 패턴화 수량 및 품질을 보장하도록 설계되었습니다. 청소 트랙 리티우스 (Clean Track Lithius) 는 특수 건식 청소 장비를 사용하여 기판을 효율적으로 청소하고 대용량 생산 환경에서도 저항합니다. 이 도구는 입자 제어를 개선하기 위해 3 단계 필터링 구조를 사용하여 오염 수준을 향상시키고, 청소와 관련된 비용과 다운타임을 줄입니다. 즉, 액티브 오염 탐지 (active contamination detection) 를 구현하여 필요에 따라 자산을 지속적으로 조정할 수 있습니다. 또한 TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track Lithius는 실시간 스캔 전자 현미경을 통합하고 빠른 결함 분석 및 해상도를 위해 고해상도 이미지를 전송합니다. 이 통합 탐지 모델 (integrated detection model) 은 생산 라인에서 샘플을 분리하여 시간과 비용을 줄일 필요가 없습니다. 이 장비는 소프트웨어 시스템 (Software System) 을 사용하여 미리 정해진 값에 따라 자동으로 레벨 및 기능 (예: 초점, 샷 위치) 을 조정하여 더 높은 정밀도를 허용합니다. 전반적으로 TEL 클린 트랙 리티 우스 (TEL Clean Track Lithius) 는 처리량 및 비용 절감 효과가 향상되어 매우 깨끗한 결과를 제공하도록 설계된 고급 포토레지스트 장치입니다. 정확한 레이저, 자동 기능 조정, 고해상도 이미징 (high-resolution imaging) 및 액티브 오염 탐지 (active contamination detection) 기능을 갖춘 이 머신은 높은 품질과 반복성이 필요한 생산 환경에 이상적인 솔루션입니다.