판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track Lithius #9203697

TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track Lithius는 최고 수준의 마이크로/나노 장치 제조를 달성하도록 설계된 고급 포토 esist 프로세스 장비입니다. 높은 수준의 처리량과 낮은 결함 비율을 자랑하는 이 솔루션은 기본 (basic) 에서 고급 (advanced) 성능 (performance) 에 이르기까지 다양한 애플리케이션에 적합한 경제적인 솔루션입니다. 이 시스템은 레이저 광원을 사용하여 웨이퍼에 고해상도 패턴을 만듭니다. 직접 펄스 바이 펄스 이미징 방법론은 ArF (아르곤 플루오 라이드) 침수, KrF (크립톤 플루오 라이드) 건조 및 하이브리드 모드를 포함한 여러 리소그래피 옵션을 지원합니다. 빔 에너지 (beam energy) 는 다양한 응용 요구 사항으로 조정 할 수 있으며, 생산에는 높은 펄스 반복 속도, 정확한 오버레이 및 미세 피쳐 노출에는 매우 높은 정확도 펄싱 (pulse-high accuracy pulsing) 이 있습니다. 베이킹, 개발, 스트리핑, 치료 및 이온 빔 밀링과 같은 광범위한 유용한 노출 후 프로세스도 지원됩니다. TEL Clean Track Lithius는 오염을 최소화하고 프로세스 효율성을 극대화하기 위해 제작되었습니다. 이 장치의 공기 청소기 (air cleaning machine) 는 노출에서 오염 및 기타 부동 입자를 제거하는 데 도움이됩니다. 특허받은 소음 제거 모듈은 백그라운드 압력 노이즈를 낮추고, 이 도구에는 상세한 마이크로 메쉬 필터, 트리플 필터레이션 및 UV 라이트 살균 기능이 장착되어 있습니다. 이 장치는 부분적으로 감독 된 화학 공급 잠금 (chemical supply locking) 자산을 사용하여 화학 얼룩 또는 입자 오염의 위험을 제한합니다. 이 모델은 또한 내장형 지능형 송풍기 (Intelligent Blower) 를 갖추고 있으며 챔버 내에서 압력을 변조 할 수 있습니다. TOKYO ELECTRON Clean Track Lithius의 사용자 인터페이스는 간단하고 직관적입니다. 공통 소프트웨어 환경은 여러 플랫폼 모델에 사용할 수 있으며, 고급 기술 지원 서비스는 하루 24 시간 이용이 가능합니다. Clean Track Lithius는 빠르고 정확하며 신뢰할 수 있습니다. 소형 설계, 부품 부족, 유지 보수 비용 절감, 소규모/대규모 운영 환경 모두에 적합합니다. 이 장치는 엄격한 테스트를 거쳤으며 ISO 9001:2015, ISO 14001:2015 및 EPA 적합성을 포함하여 다양한 인증을 받았습니다. TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track Lithius는 강력하고 비용 효율적인 photoresist 프로세스 장비로, 오늘날의 마이크로/나노 장치 제조의 복잡한 요구를 충족시킬 수 있습니다.