판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track Lithius #9195123

TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track Lithius는 다양한 이미지를 기판에 노출시키는 포토 esist 장비입니다. 이 시스템은 마이크로 일렉트로닉스, 평면 패널 디스플레이, 광전자 장치 및 반도체 제조 공정에서 미세 패턴 및 석판화 응용 분야에 사용됩니다. TEL Clean Track Lithius 장치는 photoresist dispense unit, 이미지 노출 섹션 및 드라이 필름 전송 섹션의 세 부분으로 구성됩니다. 광저항제는 처음에 광저항 분배 장치 (photoresist dispense unit) 의 기판에 분배되며, 기계에 통합된다. 이 장치는 잘 조절 된 압력 (pressure) 과 속도 (speed) 로 인해 포토리스 연주자를 균일하게 분배하여 후속 작업에 좋은 출발점을 보장합니다. 공구의 두 번째 부분은 이미지 노출 (image exposure) 섹션으로, 원하는 이미지를 photoresist에 노출시키는 과정을 수행합니다. 이 섹션에는 UV-LED (UV-LED) 광원이 장착되어 있어 교정이 최소화되어 매우 안정적인 UV 출력을 제공합니다. 이를 통해 노출이 필요한 이미지의 모든 부분이 균일 한 UV 강도에 노출되어 정확하고 반복 가능한 패턴 처리 (patterning process) 로 이어집니다. 마지막으로, 자산의 세 번째 섹션은 드라이 필름 전송 섹션입니다. 이 부분 에서는 정밀 한 "드라이 필름 '전달" 로봇' 을 사용 하여 기판 으로 옮길 수 있는 감광 "로봇 '의 매우 얇은 층 을 만들어 낸다. 이 부분 의 "로봇 '들 은 오염 이나 번짐 의 위험 을 최소화 하면서 건조" 필름' 을 기판 에 정확 히 위치 시킬 수 있다. 결론적으로 TOKYO ELECTRON Clean Track Lithius는 정확한 패턴화 및 리소그래피 적용을위한 효과적인 포토 esist 모델입니다. 포토리스 연주자의 균일 한 분배, 균일 한 이미지 노출, 그리고 정확하고 반복 가능한 드라이 필름 전송 (dry film transfer) 을 제공 할 수 있습니다. 이러한 기능은 마이크로 일렉트로닉스, 평면 패널 디스플레이, 광전자 장치 및 반도체 제조 공정에 사용하기에 적합합니다.