판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track Lithius Pro #293802326
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TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track Lithius Pro 포토 esist 장비는 포토 리토 그래피 프로세스를 위해 설계된 고급 고급 시스템입니다. 포토리토그래피 (Photolithography) 는 매우 정확한 정확도로 매우 작고 복잡한 패턴을 만드는 데 사용되며, 이 단위는 시장에서 가장 높은 수준의 정확도와 신뢰성 (안정성) 을 가지고 있습니다. 리티우스 프로 (Lithius Pro) 는 포토리스 스틱 (photoresist) 기술을 사용하여 기계에 놓인 패턴을 캡처하고 추적합니다. 광전자는 빛에 노출 될 때 변화를 겪는 감광 물질로 구성됩니다. 빛은 사진 촬영에 필요한 패턴으로 형성되며, 포토리스트 (photoresist) 내에서 캡처됩니다. 공정 중 에 "패턴 '은 기판 에 노출 될 것 이며, 공정 끝 에" 포토레지스트' 를 제거 하여 "패턴 '을 드러낼 수 있다. 리티우스 프로 (Lithius Pro) 의 주요 기능은 기판에 노출 될 때 패턴의 정확한 위치를 캡처 할 수있는 고정밀 광학 부품 (high precision optical component) 입니다. 사용 된 매우 정확한 센서는 패턴을 +/- 0.15 미크론 정확도로 디지털 좌표로 변환합니다. 또한, 고해상도 이미지 캡처는 매우 민감한 CCD 카메라를 사용하며 광원은 밝고 균일 한 조명을 제공하여 일관되고 정확한 노출 정확도를 제공합니다. 물론, 이 도구의 주요 장점은 고급 청소 트랙 자산입니다. 클린 트랙 (Clean Track) 모델은 입자가 포토리스 스트 (photoresist) 에 형성되고 패턴을 오염시키는 것을 방지하도록 설계되었으며, 이는 공기를 끌어들이는 진공 환경 (vacuum environment) 을 통해 이루어져 입자를 포획하고 광석기 과정을 보호합니다. 전반적으로 TEL Clean Track Lithius Pro photoresist 장비는 정밀도가 높은 광학 구성 요소, 정확한 센서 및 입자 예방을위한 깨끗한 트랙 시스템을 갖춘 정확하고 신뢰할 수있는 photolithography 프로세스를 제공합니다. 이 장치는 일관성 있는 결과를 얻을 수있는 매우 효율적이고 정확한 광석기 (photolithographic) 프로세스를 제공하도록 설계되었습니다.
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