판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track Lithius Pro Z #293812835

TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track Lithius Pro Z는 반도체 산업에서 정밀 성능을 제공하도록 설계된 고급 포토 esist 장비입니다. 이 시스템은 최신 레이저 유도 열 이미징 기술을 사용하여 15 나노미터 미만의 해상도를 달성합니다. 그것은 박막 photoresist 레이어의 빠르고, 정확하고, 반복 가능한 제거를 허용합니다. 초정밀 적응 광학 (ultra-precise adaptive optics) 을 사용함으로써 포토레스 장치 (photoresist unit) 의 잠재적 결함을 최소화 할 수 있습니다. TEL Clean Track Lithius Pro Z는 광음향 이미징에 최첨단 광학 헤드를 사용합니다. 이렇게 하면, 제거 (remove) 할 레이어가 매우 얇아도 가장 작은 형상을 웨이퍼에 이미징할 수 있습니다. 이 기계는 높은 수준의 정확성, 반복성 및 청소 안정성을 제공합니다. 즉, 모듈식 설계를 통해 공간이나 성능을 그대로 유지하면서 고객 사이트에서 손쉽게 운송, 조립할 수 있습니다. TOKYO ELECTRON Clean Track Lithius Pro Z 도구는 사용자의 효율성과 생산성을 극대화하기 위해 설계된 다양한 기능을 갖추고 있습니다. 사용자 친화적 인 소프트웨어 인터페이스와 다양한 기판 처리 도구 (예: 자동 기판 배치) 를 자랑합니다. 적응형 (adaptive) 광학 자산은 초점 (focusing) 오류를 자동으로 수정하여 복잡한 형상을 만들 수 있습니다. 이 모델은 또한 강력한 레이저 클리닝 장비를 갖추고 있으며, 이는 얇은 포토레지스트 레이어를 빠르고, 안전하며, 효율적으로 제거 할 수 있습니다. Clean Track Lithius Pro Z 시스템은 반도체 산업을 위해 특별히 설계되었으며 최적의 성능을 보장하기 위해 수많은 모니터링 기능을 포함합니다. 이 장치에는 온도 수준, 전류 및 전압 수준, 가스 수준, 기판 배치 및 접촉 전위 (contact potential) 와 같은 광범위한 프로세스 추적 도구가 장착되어 있습니다. 이 기계는 또한 오프라인 분석 (offline analysis) 과 자동 제어 (automated control) 를 통해 반복 가능한 프로세스와 고품질 최종 제품을 보장합니다. 전반적으로 TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track Lithius Pro Z 도구는 반도체 산업에서 비교할 수없는 정밀도와 정확도를 제공합니다. 최고의 해상도와 성능을 요구하는 애플리케이션에 이상적인 솔루션입니다. 풍부한 기능의 설계/모니터링 기능 덕분에, 사용자는 신뢰할 수 있고, 반복적으로 활용할 수 있는 결과와, 최종 제품이 뛰어나다고 확신할 수 있습니다.