판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track Lithius Pro Z #293802347

TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track Lithius Pro Z는 고급 반도체 장치 제작을위한 차세대 포토 esist 장비입니다. 이 시스템은 고급 기술을 사용하여 빠르고, 정확하며, 신뢰할 수있는 포토 esist 증착을 제공합니다. TEL Clean Track Lithius Pro Z는 자동화 된 트랙 리소그래피 프로세스를 통해 품질의 균일성을 제공하며 전체 웨이퍼 표면에 걸쳐 최대 0.3-4m 두께 편차를 달성합니다. 이 장치는 또한 증착 과정에서 여러 웨이퍼 (wafer) 를 챔버 (chamber) 에 넣을 때 기판의 정확한 정렬을위한 고정밀 단계를 특징으로합니다. TOKYO ELECTRON Clean Track Lithius Pro Z는 고품질 작업 분위기를 유지하기 위해 10-11 torr의 UHV (Ultra High Vacuum) 환경에서 작동합니다. 이 기계는 DUV (Deep Ultraviolet) 빛의 266 nm (초단파) 파장을 사용하여 반도체 웨이퍼에 photoresist 패턴을 만듭니다. 이 짧은 파장은 0.3 m까지 높은 해상도를 가능하게합니다. DUV 조명은 전체 웨이퍼 표면에서 균일 한 패턴화를 위해 하향식 스캐닝 레이저 도구로 제공됩니다. "레이저 '무늬 의 노출 은 정전기" 척' 기술 을 통해 더욱 개선 되어 "웨이퍼 '의 중앙 에서 가장자리 까지의" 패턴' 의 균일 함 을 제공 한다. 포토 esist 개발자는 노출 된 패턴을 완전히 해산하고 고품질 및 균일 한 포토 esist 패턴을 생성하기 위해 NF 농도가 0.8% 이하입니다. 이 개발자는 친환경 솔루션으로, 친환경 CDP 인증을 받았으며 SEMI S2 표준을 준수합니다. Clean Track Lithius Pro Z는 또한 다양한 두께의 혼합 분자 증착, 다중 레이어 증착 및 저항 패턴과 같은 고급 옵션을 제공합니다. TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track Lithius Pro Z는 여러 배치를 연속으로 처리 할 때 높은 처리량과 낮은 다운타임을 제공하기 위해 고도 주기로 설계되었습니다. 전반적으로 TEL 클린 트랙 리티우스 프로 Z (TEL Clean Track Lithius Pro Z) 는 고급 반도체 장치의 제작에 탁월한 정확성과 효율성을 제공하는 고급적이고 효율적인 포토레시스트 자산입니다. 이 모델은 광범위한 반도체 장치 생산에 적합합니다.