판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track ACT Lithius #293641947

TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track ACT Lithius는 물리적, 화학적 처리를 결합하여 반도체 및 기타 미세 전자 표면에 미세한 패턴을 만드는 포토 esist 장비입니다. 이 "시스템 '은" 웨이퍼' 와 기판 에 높은 정확도 와 반복성 을 지닌 훌륭 한 특징 을 만드는 데 사용 된다. 이 장치는 광원, 패턴 생성기, 코터/개발자, 분석기 및 진공 챔버의 5 가지 주요 구성 요소로 구성됩니다. 광원은 특정한 파장과 패턴을 가진 고강도 광원 (high-intensity light) 을 방출하여 기판의 포토 esist를 활성화합니다. 패턴 생성기 (pattern generator) 는 일련의 빔을 통해 정확한 패턴을 생성한 다음 광원을 통과합니다. 그런 다음, 코터/개발자는 기판을 포토 esist로 코팅하고, 이를 패턴 화 된 빛에 노출시킨다. 그 다음 광전물질 을 화학적 으로 개발 하여, 기질 표면 에 "패턴 '을 에칭 한다. 마지막으로, 분석기는 형성된 패턴의 정확도를 효과적으로 측정합니다. 이것은 진공 챔버 (vacuum chamber) 의 패턴 기판에서 데이터를 수집하여 분석기 (Analyzer) 가 기판과 원하는 패턴 사이의 불일치를 감지 할 수 있도록 합니다. 또한 Analyzer 를 사용하면 패턴 생성기 및/또는 광원 (Light Source) 을 조정하여 원하는 패턴 정확도를 얻을 수 있습니다. 또한, 이 기계는 인라인 적외선 현미경과 가스 전달 도구 (gas delivery tool) 를 갖추고 있어 개발 속도와 에치 레이트를 정확하게 제어 할 수 있습니다. 이것 은 "가스 '의 온도 와 농도 를 조절 하여 반응 을 조정 함 으로써 행해진다. 최종 결과는 엄청나게 정확한 패턴 기판 (patterned substrate) 이며, 이는 전통적인 사진 해설법으로 당시의 일부분에서 만들어집니다. 이를 통해 TEL Clean Track ACT Lithius 자산은 다양한 마이크로 일렉트로닉스 응용 프로그램에 대한 안정적이고 비용 효율적인 솔루션이 됩니다.