판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 8 #9402762

TEL/TOKYO ELECTRON Clean TrACK ACT 8은 반도체 재료의 청소 및 표면 제조를 위해 설계된 포토 esist 장비입니다. 그것 은 특허 받은 "로봇 '암 조립 을 이용 하여, 청소 액체 를 자재 의 표면 에 직접 분배 시킨다. 그런 다음, 액체 를 진공 진공 처리 하여, 표면 에 균일 하고 깨끗 한 "코우팅 '을 남긴다. TEL Clean Track ACT 8은 컨트롤러, 디지털 카메라, 조작기 암 및 증기 장벽 시스템으로 구성됩니다. 컨트롤러는 프로세스 레시피, 장치 안전 및 프로그래밍 가능한 작업과의 인터페이스를 제공합니다. 디지털 카메라는 로봇 암 (robotic arm) 어셈블리의 동작을 감지하는 데 사용되며, 정확한 청소 및 코팅에 필요한 피드백을 제공합니다. 조작 장치 (manipulator arm) 는 청소 액체의 부드럽고 정확한 움직임을 제공하도록 설계되었습니다. 증기 장벽 장치 (vapor barrier unit) 는 청소 과정에서 발생하는 휘발성 연기의 탈출을 최소화하도록 설계되었습니다. 이 모든 구성 요소들이 함께 모여 완전하고 신뢰할 수있는 photoresist 기계를 만듭니다. TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 8에는 비전 (vision) 하위 시스템이 장착되어 있어 수동 검사 프로세스로 누락 될 수있는 물질 결함을 정확하게 감지 할 수 있습니다. 이 도구에는 다른 재료를 쉽게 인식하고, 매개변수를 적절히 조정할 수 있는 지능형 재료 처리 모듈 (Intelligent Material Handling Module) 도 포함되어 있습니다. 청소 과정 은 "클리닝 '액체 의 도입 에 의하여 시작 되고, 그 다음 에" 포토레지스트' 물질 의 증착 에 의하여 시작 된다. 증착 과정은 단파 UV 광원을 사용하여 수행되며, 사진 노출 및 개발이 뒤 따릅니다. 그 다음 청소 및 "코우팅 '과정 에 따라, 그 장치 는 물 이나 적절 한 용제 로" 린스' 를 하여 과도 한 "포토레지스트 '물질 을 제거 한다. Clean Track ACT 8은 사용이 쉽고, 안정적이며, 비용 효율적인 photoresist 자산으로, 일관된 청소 및 코팅 결과를 제공할 수 있습니다. "반도체 '소재 청소 와" 코우팅' 의 전체 과정 을 능률화 하여, 효율적 인 해결책 을 추구 하는 회사 들 에게 이상적 인 선택 을 하도록 설계 되었다.