판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 8 #9383674
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ID: 9383674
빈티지: 1996
Coater / Developer system
(2) COT
(2) TCT
(3) DEV
WEE
Missing parts:
Cup temperature system
Humidity machine
1996 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 8은 전문 소프트웨어 및 하드웨어를 사용하여 고급 사진 촬영 프로세스를 정리, 보호 및 정확하게 노출하는 포토리스 (photoresist) 장비입니다. 광전도 (Photolithography) 는 반도체 및 마이크로 일렉트로닉스 산업에서 재료 표면에 정확한 모양, 패턴 및 구조를 재현하는 데 사용되는 프로세스입니다. TEL Clean Track ACT 8 (TEL Clean Track ACT 8) 을 사용하면 사진술 프로세스를 정확하고 제어할 수 있으며, 오염을 방지하고 장치의 단열재를 보호할 수 있습니다. 이 시스템은 고급 사진 해설법 (photolithography) 프로세스에 필요한 노력과 인간 노동의 양을 줄입니다. TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 8 장치는 리소그래피 스테이지와 사용자의 컴퓨터에서 소프트웨어와 통신하는 일련의 드라이브 센서 (drive sensor) 를 갖춘 특수 하드웨어 모듈로 구성됩니다. 이 소프트웨어는 리토그래피 프로세스의 추가 단계 (예: 대상 재료의 정확한 정렬) 를 자동화하고, 균일 하고 심지어 반응에 노출되는 것을 최적화하는 데 도움이됩니다. 이 기계는 또한 노출을 실시간으로 모니터링할 수 있고, 다양한 응용프로그램에 맞게 조정할 수 있는 '공구 (tool)' 를 갖추고 있습니다. Clean Track ACT 8 도구는 다양한 프로세스 옵션을 제공하며, 이를 통해 사용자는 자산을 특정 응용 프로그램에 미세하게 조정할 수 있습니다. 예를 들어, 사용자는 코팅 두께 (coating thickness) 와 노출 시간 (exposure time) 을 선택할 수 있으며, 이를 통해 모델은 포토레지스트 재료의 용해와 에칭 두께의 변화를 정확하게 제어할 수 있습니다. 노출을 더욱 최적화하기 위해 추가 프로세스 옵션 (예: 이동 속도, 통과 속도, 스캔 방향) 을 설정할 수도 있습니다. TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 8 장비에는 또한 통합 된 2 점 진공 시스템 (two point vacuum system) 과 같은 다양한 안전 기능이 포함되어 있습니다. 또한 수송 중 유닛에 해를 끼치는 것을 방지하는 보호 커버가 제공됩니다. 또한, 이 기계는 다양한 보증 (warranty) 및 서비스 옵션 (service options) 을 제공하여 공구가 최상위 상태로 작동하고 완벽하게 지원됩니다. 전반적으로 TEL Clean Track ACT 8 포토레시스트 (photoresist) 자산은 사용자가 고정밀도 포토리토그래피 프로세스를 보다 쉽게 실행할 수 있도록 설계되었으며, 반도체 및 마이크로 일렉트로닉스 산업의 장치를 위한 효율적이고, 안정적이며, 사용자 친화적 인 솔루션을 제공합니다. 다양한 설정과 옵션을 통해 고품질 (HI) 결과를 지속적으로 얻을 수 있으며, 오염과 결함의 위험을 줄일 수 있습니다.
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