판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 8 #9361997

TEL/TOKYO ELECTRON Clean TrACK ACT 8은 매우 얇고, 정확하며, 매우 균일 한 포토 esist 물질의 필름을 적용하도록 설계된 포토 esist 장비입니다. 이 시스템은 광원, 광학 장치, 진공 전송 기계 등 여러 외부 구성 요소로 구성되어 있습니다. 광원은 자외선 (UV) 범위를 포함하여 광범위한 스펙트럼 빛을 생성하는 맞춤형 Xenon 단호 램프입니다. 그런 다음, "램프 '에서 생성 되는 빛 을 수집 하여 사용 하는 광학" 도우미' 에 의하여 파장 "스펙트럼 '이 사용 되고 있는 광학 물질 과 일치 하도록 인도 한다. 광학 자산은 또한 광선의 초점, 발산 및 균일성을 제어합니다. 광저항 물질 은 진공 "플라스크 '나" 탱크' 에 저장 되어 있으며, 사용자 정의 된 전달 "모델 '을 통하여 광선 에 노출 된다. 이 장비는 셔터, 응축 렌즈 및 진공 전사 챔버로 구성됩니다. "셔터 '는 광물질 이 빛 에 노출 되는 시간 을 조절 하는 데 사용 된다. 응축 렌즈는 빛을 기판에 집중시키는 반면, 진공 전달 챔버 (vacuum transfer chamber) 는 균일 한 노출을 보장합니다. 이 시스템은 또한 포토레스 소재 (photoresist material) 의 특성을 모니터링하고 제어하는 통합 측정 단위를 포함합니다. 이 측정 기계는 기판 및 포토레지스트 (photoresist) 재료 특성을 평가하는 특수 소프트웨어가 있는 컴퓨터 도구에 연결됩니다. 이 자산은 높은 수준의 제어 및 정확성을 허용합니다. TEL Clean Track ACT 8은 매우 얇고, 정확하며, 균일 한 포토 esist 필름을 생산하기 위해 설계된 고급형 포토 esist 모델입니다. 이 시스템은 사용자 정의 광원, 광학 장치, 전송 장비 (Transfer Equipment) 의 조합을 통해 사용 및 유지 관리가 용이하면서도 탁월한 균일성과 정확성을 제공합니다.