판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 8 #9300430

TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 8은 고품질 사진 분석 프로세스를 위해 설계된 최첨단 포토 esist 장비입니다. 이 시스템은 단일 자동 모듈 내에서 방적 (spinning), 제빵 (baking), 개발 (developing) 등 다양한 처리 단계를 용이하게 합니다. 매우 정밀한 석판 공정 중에 최적의 제어와 높은 수율을 제공하도록 특별히 설계되었습니다. TEL Clean Track ACT 8에는 고정밀 모션 컨트롤러와 MViS (Motion Visioning Unit) 가 장착되어 있습니다. 이를 통해 장기간 동안 웨이퍼 (wafer) 단계의 정확하고 고도로 재현 가능한 위치를 확보할 수 있습니다. 또한이 기계는 고속 거친 이동 컨트롤러, 고속 선형 인코더 및 CLAD (Closed-Loop Axis Drive) 를 포함한 다양한 고급 기술을 사용합니다. 이러한 기능의 조합은 부드럽고, 안정적이며, 정확한 동작 제어 (motion control) 를 보장하며, 웨이퍼 스테이지의 정확한 위치를 보장합니다. TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 8은 우수한 기판 청소 기능을 제공합니다. 슬라이드 가능 사다리꼴 블레이드 클리닝 스테이션이 장착되어 있습니다. 이 스테이션은 연마 블레이드를 사용하여 기판 표면에서 입자를 부드럽게 제거하고 가장자리 효과를 줄입니다. 또한 지속적인 효과적인 프로세스 제어를 위해 입자 및 오염 모니터링 (contamination monitoring) 도구를 갖추고 있습니다. 이 모니터링 자산은 현장 ionizer 및 공기 배기 시스템을 사용하여 뛰어난 기판 청결을 보장합니다. 청소 트랙 ACT 8 (Clean Track ACT 8) 은 동작 제어 및 청소 기능 외에도 다양한 이미징 및 패턴 옵션을 제공합니다. 대형 기판의 빠른 이미징을 위해 단일 및 이중 급지 헤드 스캐너를 모두 갖추고 있으며, ELS (Exposure Laser Scanning), PRC (Contact PR Copies) 및 정확한 이미지 패턴을 정의하기위한 내장 오프 축 자동 정렬과 같은 다양한 패턴화 방법을 포함합니다. TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 8은 고품질의 재생 가능한 석판화 결과를 제공하도록 설계된 포괄적 인 포토 esist 모델입니다. 뛰어난 모션 컨트롤, 기판 클리닝, 이미징 기능을 제공하여 사용자가 정확하고 정확한 사진 (photolithography) 프로세스를 수행할 수 있습니다. 첨단 기술 기능과 다양한 패턴화 (patterning) 옵션을 통해 고정밀도 (high-precision) 프로세스를 선택할 수 있어 탁월한 수율과 프로세스 제어를 보장합니다.