판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 8 #9282575

TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 8은 최소 잔류물로 깨끗하고 정확한 처리를 가능하게하는 포토 esist 장비입니다. 전기중심 광학 (Telecentric Optics) 과 지능형 자동화 (Intelligent Automation) 를 사용하여 높은 수준의 정확성과 처리량을 제공하는 매우 효율적이고 정확한 기술입니다. 이 시스템은 4 가지 주요 구성 요소로 구성됩니다. 무대, 레티클, 리소그래피 유닛 및 포토 esist 스테이션. 스테이지는 움직이는 스테이지와 고정 레티클이있는 수평 정렬 기계입니다. 무빙 스테이지 (moving stage) 는 신뢰할 수 있고 내구성이 뛰어난 동력 스테이지로 다양한 기판을 지원합니다. 고정 레티클 (Stationary Reticle) 은 기판의 정확한 정렬 및 배치를 위한 정밀한 참조를 제공합니다. 리소그래피 도구는 원격 중심 광학과 스캔 제어 자산으로 구성됩니다. "텔레센트릭 '광학 은 깊은 초점 을 이루며, 기판 의 균일 한 조명 을 보장 해 주므로, 더욱 정확 한 노출 이 가능 하다. 스캔 제어 모델 (scan control model) 은 노출이 지정된 대로 발생하므로 처리량이 증가합니다. 포토 esist 스테이션에는 스핀 온 (spin-on) 처리 헤드가 장착되어 있어 공정 중에 교차 오염이 없습니다. 양수, 음수 및 중성 유형을 포함한 여러 유형의 스핀 온 광 주의자를 지원합니다. 최적의 프로세스 제어를 위해 정확한 스핀 온 코팅 및 안정적인 저항 속성을 제공합니다. 마지막으로 TEL Clean Track ACT 8 (TEL Clean Track ACT 8) 장비에는 노출 프로세스를 모니터링하고 제어하는 자동 엔드포인트 시스템이 함께 제공되므로 처리량과 정확도가 향상됩니다. 종단점 장치 (end-pointing unit) 는 사용자가 노출 프로파일을 완벽하게 제어하여 통일된 적용 범위와 해상도를 보장합니다. 결론적으로, TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 8 기계는 취미, 프로토 타이스트 및 전문가 모두에게 적합한 안정적이고 효율적이며 정확한 포토 esist 도구입니다. 자산의 원격 중심 광학, 스캔 제어 모델, 기판 단계 및 저항 스테이션 (resist station) 이 결합하여 높은 수준의 정확성과 생산성을 제공합니다. 자동 끝점 (automatic endpointing) 장비는 노출 프로세스가 지정된 대로 완료되어 더 균일 한 코팅 (coating) 과 더 큰 해상도를 허용합니다.