판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 8 #9282574

TEL/TOKYO ELECTRON Clean TrACK ACT 8은 고급 마이크로 전자 장치 패턴화를 위해 안정적이고 효과적인 프로세스를 제공하도록 설계된 포토 esist 장비입니다. 이를 통해 사용자는 포토리스 (photoresist) 패턴을 거의 모든 형태 또는 크기의 기판으로 깨끗하게 전송 할 수 있습니다 (예: 오목한 패턴 또는 올린 장치 영역). 이 시스템은 정밀 photomask aligner, stepper/scanner 및 electron beam coater/developer를 포함한 여러 구성 요소로 구성됩니다. 정밀 photomask 정렬기를 사용하면 photomask를 기판 기판에 정확하게 정렬할 수 있으므로, 패턴이 효과적으로 전송됩니다. 또한, 정밀한 정렬을 위해 빠르게 열리고 닫을 정렬 셔터를 활성화하도록 photomask 정렬기를 설정할 수 있습니다. 스테퍼/스캐너는 포토리스 스트 패턴을 기판에 자동으로 노출 할 수 있습니다. 인체 공학적으로 설계된 웨이퍼 처리 및 기판 스캔 구성 요소가 포함되어 있으며, 투명 및 불투명 기판에 광학 이미징 기능을 제공합니다. 이 장치의 마지막 구성 요소는 전자 빔 코터/개발자 (electron beam coater/developer) 로, 기판에 포토 esist 코팅을 적용하고 개발하는 데 사용됩니다. 이 구성 요소는 photoresist를 균등하고 안정적으로 적용하도록 설계되었습니다. 전자빔은 매우 정확하며, 선명하고 잘 정의 된 가장자리로 정확한 패턴화를 허용합니다. 또한 포토 esist 개발 과정은 빠르고 효율적입니다. TEL Clean Track ACT 8은 현대 전자 기기의 패턴화를 위한 성능 및 신뢰성의 최적의 조합을 제공합니다. 구성 요소는 정확한 정렬, 정확한 노출, 심지어 신뢰할 수있는 photoresist 응용 및 개발을 보장합니다. 결과적으로, 기계는 높은 정밀도와 신뢰성이 필요한 마이크로 일렉트로닉 장치 (microelectronic devices) 를 패턴화하는 데 사용될 수있다.