판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 8 #9280915

ID: 9280915
빈티지: 2006
System 2006 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 8은 반도체 및 집적 회로 (IC) 제조에 사용되는 포토 esist 장비 인 photoresist 장비입니다. Photoresist는 빛에 민감하고 IC 생성의 리소그래피 프로세스에 사용되는 재료입니다. TEL Clean Track ACT 8 시스템은 사용자에게 정확하고, 안정적이며, 정확한 석판화 결과를 제공하면서 환경, 안전 및 비용 요구 사항을 충족하도록 설계되었습니다. TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 8은 효율적인 작동을 위해 중앙 콘솔에 연결된 다양한 장치로 구성된 고급 석판 단위입니다. 여기에는 노출 용량, 조명 노출 시간, 거리와 같은 노출 매개 변수를 제어하기위한 작고 컴팩트 한 노출 장치가 포함됩니다. 청소 장치 는 "브러쉬 '와" 스핀' 건조기 로 구성 되어 있으며, 이것 은 광전자 들 에게 깨끗 한 환경 을 제공 한다. 뿐 만 아니라, 이 기계 에는 포토리스 (photoresist) 와 노출 되기 전 의 기질 에 대한 자동 청소 "셀 '이 들어 있다. 자동 노출 단계 (automated exposure stage) 는 노출 전에 기판을 정렬하는 데 사용되며, 공구에는 팬 (fan) 이 장착되어 있어 작동 중에 기판을 시원하게 유지할 수 있습니다. Clean Track ACT 8 자산의 주요 기능은 나노 제어 기술입니다. 나노 빔 정렬 모델 (nano-beam alignment model) 을 사용하면 노출 매개변수를 정확하게 제어하고 조정하여 응용 프로그램의 요구 사항을 충족시킬 수 있습니다. 이를 통해 매우 정확한 노출 매개변수를 달성하고 기판에 포토리스 스트 (photoresist) 를 정확하게 배치할 수 있습니다. 또한, 노출 매개변수가 올바른 리소그래피 (lithography) 를 위해 조정되는 동안 노출 힘 (exposure force) 과 저항 분포 (resist distribution) 가 유지되도록 보장합니다. TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 8은 비용 및 에너지 효율성 측면에서 몇 가지 이점을 제공합니다. 낮은 전력 소비량과 낮은 운영 비용을 자랑하는 이 장비는 리토그래피 (lithography) 애플리케이션을 위한 매우 효율적이고 경제적인 옵션을 제공합니다. 또한, 자동 청소 (automated cleaning) 셀로 인한 오염 위험이 낮아 수동 청소 작업이 필요하지 않습니다. 전체 TEL Clean Track ACT 8은 신뢰할 수 있고 정확한 리소그래피 결과를 제공하는 고급 포토레스 장치 (photoresist unit) 이며 비용과 에너지 효율성도 제공합니다. 나노 제어 기술, 자동 클리닝 셀 (cleaning cell) 및 저전력 소비는 IC 생산 및 기타 포토레지스트 어플리케이션에 적합한 선택입니다.
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