판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 8 #9269251

ID: 9269251
System Single block.
TEL/TOKYO ELECTRON Clean TrACK ACT 8은 고정밀 제어 및 측정과 다양한 화학 물질에 대한 신뢰할 수있는 내성을 결합한 포토 esist 장비입니다. 즉, 사용자가 더 이상 청소가 필요 없이 정확하고 정확하게 프로세스 크리티컬한 박막 (thin-film) 레이어를 효율적으로 생성할 수 있습니다. TEL Clean Track ACT 8 시스템은 2 축 이미지 캡처 광학 마이크로 미터를 중심으로 설계되었습니다. 이를 통해 최대 8 미크론 해상도의 유리 슬라이드 기판의 XY 좌표 (Coordinate) 포지셔닝을 가능하게 하며, 이를 통해 박막, 장치 수준 응용 프로그램의 정확성으로 photoresist 프로세스를 수행 할 수 있습니다. 이 장치에는 반사 방지 코팅 (anti-reflection coating) 이 장착되어 기판 표면에서 빛의 반사 (reflection) 로 인한 오류를 줄입니다. TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 8 기계에 사용 된 포토 esist는 고유 한 화학 공정과 기계 공정의 조합을 사용합니다. 여기에는 솔루션의 직접 분배, 균일 한 저항층 (uniform resist layer) 커버리지 및 효과적인 회전력 제어를 위한 회전력 (spinning force) 의 최적의 전달이 포함됩니다. 이 모든 과정 은, 효율적 이고 신뢰 할 만한 사진술사 (photoresist) 도구 를 만들기 위해, 본질적 으로 서로 관련 이 있다. 에셋은 또한 기판을 청소하고 포토리스 스트 (photoresist) 과정에 저항하는 독특한 클리닝 모델을 사용합니다. 이 청소 장비 는 "알코올 '과" 소닉' 청소 교반기 를 사용 하여 사진 노출 후 에 최고 수준 의 청결 을 보장 한다. "알코올 '청소 장치 는 기질 의 오염 을 줄이고 저항 하도록 특별 히 설계 되었다. 결과의 정확성을 더욱 높이기 위해 Clean Track ACT 8 장치는 방적 프로세스 동안 각 저항 레이어의 자동 "품질 점검" 도 제공합니다. 이렇게 하면 각 레이어가 깨끗하고 원하는 표준을 준수할 수 있습니다. TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 8 머신의 고유한 기능을 통해 사용자는 정확하고 높은 수준의 프로세스 크리티컬 박막 레이어를 만들 수있었습니다. 이 도구 는 또한 광범위 한 화학 물질 에 대한 믿을 만한 내성 을 제공 해 주며, 그 결과 는 언제나 일관성 이 있고, 신뢰 할 만하게도 깨끗 하다. 그렇다.
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