판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 8 #9269230

TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 8은 정확하고 효율적인 패턴화를 위해 설계된 고성능 포토 esist 장비입니다. 이 시스템은 광에 노출되면 매우 세밀한 패턴을 산출하는 특수한 유형의 광감수성 소재 (photoresist) 인 고성능 포토레시스트 (photoresist) 를 사용합니다. 포토 esist는 특수 로봇 웨이퍼 처리 장치 (robotic wafer-handling unit) 에 장착되어 있으며, 정확성과 반복성으로 웨이퍼를 이동할 수 있습니다. 이 기계는 고품질의 선형 편광 레이저 (Linearly Polarized Laser) 를 포함하여 고급 광학을 사용하여 포토레지스트의 정확한 노출을 가능하게합니다. 레이저 노출 도구는 정밀도 패턴이 생성되도록 정렬됩니다. 이 정밀도는 최고의 효율성을 위해 자산을 조정합니다. 고성능 포토 esist는 모델의 로봇 웨이퍼 처리 장비를 사용하여 스탬퍼 웨이퍼 (stamper wafer) 에 준비 및 적용됩니다. "로봇 '의 정밀 운동 은 각" 웨이퍼' 를 신속 히 배치 할 수 있으므로 원하는 "패턴 '과/또는 형상 이 생성 된다. 그 다음 "로봇 '" 웨이퍼' 처리 "시스템 '은" 웨이퍼' 를 노출 장치 로 운반 하여 광물질 을 "레이저 '의 빛 에 노출 시킨다. 그 노출 로 인하여 "포토레지스트 '는 원하는" 패턴' 모양 으로 굳어진다. 노출이 완료되면 웨이퍼 (wafer) 를 개발 기계 (hot water 또는 chemicals) 로 옮겨 노출되지 않은 광물질 (photoresist) 을 용해하고 최종 패턴 또는 형상을 표시합니다. 이 마지막 단계는 고도로 정의 된, 정확한 웨이퍼 패턴으로, 추가 처리를 위해 준비됩니다. TEL Clean Track ACT 8 도구는 고정밀 마이크로 정밀 정렬 에셋을 제공합니다. 노출 모델의 정렬을 자동으로 조정하므로, 시간 소모적인 수동 설정 (manual setup) 이 필요 없습니다. 이를 통해 매우 정확하고 반복 가능한 패턴화가 가능합니다. 이 장비에는 효율적이고 정확한 웨이퍼 처리를 위한 고정밀 웨이퍼 정렬 시스템 (High-Precision Wafer Alignment System), 정확한 노출을 보장하는 자동 초점 제어 (Auto-focus Control), 실시간 오류 감지 및 데이터 로깅을 제공하는 장치 모니터 (Unit Monitor) 등 다양한 추가 기능이 포함되어 있습니다. 전체적으로 TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 8 기계는 매우 정확한 패턴을 만들 수있는 빠르고 정확하고 효율적인 포토 esist 도구를 제공합니다. 이 자산은 고정밀, 정밀 지향 프로세스 흐름에 이상적입니다.